Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Tübingen
1980
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Tübingen, Univ., Diss., 1980 |
| Beschreibung: | 73 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV002159281 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20111221 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 890928s1980 m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)603884249 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV002159281 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 | ||
| 100 | 1 | |a Mayr, Max |d 1944- |e Verfasser |0 (DE-588)1018257470 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung |
| 264 | 1 | |a Tübingen |c 1980 | |
| 300 | |a 73 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Tübingen, Univ., Diss., 1980 | ||
| 650 | 4 | |a ELECTRON BEAMS + ELECTRON OPTICS (ELECTRODYNAMICS) | |
| 650 | 4 | |a ELEKTRONENSTRAHLEN + ELEKTRONENOPTIK (ELEKTRODYNAMIK) | |
| 650 | 4 | |a MASKEN/MIKROELEKTROTECHNIK | |
| 650 | 4 | |a MASKS/MICROELECTRONICS | |
| 650 | 4 | |a MASQUES/MICROÉLECTRONIQUE | |
| 650 | 4 | |a RAYONS ÉLECTRONIQUES + FAISCEAUX ÉLECTRONIQUES (ÉLECTRODYNAMIQUE) | |
| 650 | 0 | 7 | |a Photokathode |0 (DE-588)4174510-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 655 | 7 | |a Elektronenoptischer Maskierungsprojektor |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 655 | 7 | |a Maskierungsprojektor |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 655 | 7 | |a Mikroelektronische Bauelemente |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 689 | 0 | 0 | |a Elektronenoptischer Maskierungsprojektor |A f |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikroelektronische Bauelemente |A f |
| 689 | 0 | 2 | |a Photokathode |0 (DE-588)4174510-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Maskierungsprojektor |A f |
| 689 | 1 | 1 | |a Mikroelektronische Bauelemente |A f |
| 689 | 1 | 2 | |a Photokathode |0 (DE-588)4174510-3 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001417761 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804116615225147392 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Mayr, Max 1944- |
| author_GND | (DE-588)1018257470 |
| author_facet | Mayr, Max 1944- |
| author_role | aut |
| author_sort | Mayr, Max 1944- |
| author_variant | m m mm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV002159281 |
| ctrlnum | (OCoLC)603884249 (DE-599)BVBBV002159281 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01779nam a2200481 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV002159281</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20111221 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">890928s1980 m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)603884249</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV002159281</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mayr, Max</subfield><subfield code="d">1944-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1018257470</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Tübingen</subfield><subfield code="c">1980</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">73 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Tübingen, Univ., Diss., 1980</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">ELECTRON BEAMS + ELECTRON OPTICS (ELECTRODYNAMICS)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">ELEKTRONENSTRAHLEN + ELEKTRONENOPTIK (ELEKTRODYNAMIK)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">MASKEN/MIKROELEKTROTECHNIK</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">MASKS/MICROELECTRONICS</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">MASQUES/MICROÉLECTRONIQUE</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">RAYONS ÉLECTRONIQUES + FAISCEAUX ÉLECTRONIQUES (ÉLECTRODYNAMIQUE)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Photokathode</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174510-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Elektronenoptischer Maskierungsprojektor</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Maskierungsprojektor</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronische Bauelemente</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Elektronenoptischer Maskierungsprojektor</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronische Bauelemente</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Photokathode</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174510-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Maskierungsprojektor</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronische Bauelemente</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Photokathode</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174510-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001417761</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Elektronenoptischer Maskierungsprojektor gnd Maskierungsprojektor gnd Mikroelektronische Bauelemente gnd |
| genre_facet | Hochschulschrift Elektronenoptischer Maskierungsprojektor Maskierungsprojektor Mikroelektronische Bauelemente |
| id | DE-604.BV002159281 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:41:19Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001417761 |
| oclc_num | 603884249 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 73 S. |
| publishDate | 1980 |
| publishDateSearch | 1980 |
| publishDateSort | 1980 |
| record_format | marc |
| spelling | Mayr, Max 1944- Verfasser (DE-588)1018257470 aut Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung Tübingen 1980 73 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Tübingen, Univ., Diss., 1980 ELECTRON BEAMS + ELECTRON OPTICS (ELECTRODYNAMICS) ELEKTRONENSTRAHLEN + ELEKTRONENOPTIK (ELEKTRODYNAMIK) MASKEN/MIKROELEKTROTECHNIK MASKS/MICROELECTRONICS MASQUES/MICROÉLECTRONIQUE RAYONS ÉLECTRONIQUES + FAISCEAUX ÉLECTRONIQUES (ÉLECTRODYNAMIQUE) Photokathode (DE-588)4174510-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Elektronenoptischer Maskierungsprojektor gnd rswk-swf Maskierungsprojektor gnd rswk-swf Mikroelektronische Bauelemente gnd rswk-swf Elektronenoptischer Maskierungsprojektor f Mikroelektronische Bauelemente f Photokathode (DE-588)4174510-3 s DE-604 Maskierungsprojektor f |
| spellingShingle | Mayr, Max 1944- Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung ELECTRON BEAMS + ELECTRON OPTICS (ELECTRODYNAMICS) ELEKTRONENSTRAHLEN + ELEKTRONENOPTIK (ELEKTRODYNAMIK) MASKEN/MIKROELEKTROTECHNIK MASKS/MICROELECTRONICS MASQUES/MICROÉLECTRONIQUE RAYONS ÉLECTRONIQUES + FAISCEAUX ÉLECTRONIQUES (ÉLECTRODYNAMIQUE) Photokathode (DE-588)4174510-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4174510-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung |
| title_auth | Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung |
| title_exact_search | Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung |
| title_full | Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung |
| title_fullStr | Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung |
| title_full_unstemmed | Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung |
| title_short | Aufbau und Untersuchung der Eigenschaften eines elektronenoptischen Maskierungsprojektors mit Photokathode für Verkleinerung |
| title_sort | aufbau und untersuchung der eigenschaften eines elektronenoptischen maskierungsprojektors mit photokathode fur verkleinerung |
| topic | ELECTRON BEAMS + ELECTRON OPTICS (ELECTRODYNAMICS) ELEKTRONENSTRAHLEN + ELEKTRONENOPTIK (ELEKTRODYNAMIK) MASKEN/MIKROELEKTROTECHNIK MASKS/MICROELECTRONICS MASQUES/MICROÉLECTRONIQUE RAYONS ÉLECTRONIQUES + FAISCEAUX ÉLECTRONIQUES (ÉLECTRODYNAMIQUE) Photokathode (DE-588)4174510-3 gnd |
| topic_facet | ELECTRON BEAMS + ELECTRON OPTICS (ELECTRODYNAMICS) ELEKTRONENSTRAHLEN + ELEKTRONENOPTIK (ELEKTRODYNAMIK) MASKEN/MIKROELEKTROTECHNIK MASKS/MICROELECTRONICS MASQUES/MICROÉLECTRONIQUE RAYONS ÉLECTRONIQUES + FAISCEAUX ÉLECTRONIQUES (ÉLECTRODYNAMIQUE) Photokathode Hochschulschrift Elektronenoptischer Maskierungsprojektor Maskierungsprojektor Mikroelektronische Bauelemente |
| work_keys_str_mv | AT mayrmax aufbauunduntersuchungdereigenschafteneineselektronenoptischenmaskierungsprojektorsmitphotokathodefurverkleinerung |