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Mohr, J. (1987). Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung.

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Mohr, Jürgen. Analyse Der Defektursachen Und Der Genauigkeit Der Strukturübertragung Bei Der Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung. 1987.

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Mohr, Jürgen. Analyse Der Defektursachen Und Der Genauigkeit Der Strukturübertragung Bei Der Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung. 1987.