Verfügbarkeit: Vakuumtechnik

Vakuumtechnik: Grundlagen u. Anwendungen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Edelmann, Christian (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Heidelberg Hüthig 1986
Schlagworte:	Vakuumtechnik
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:	Lizenzausg. des Fachbuchverl., Leipzig
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ISBN:	3778512056

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adam_text	Vakuumtechnik Grundlagen und Anwendungen Mit J94 Bildern, 58 Tabellen, 7 Tafeln Ilbllolhnk u d A ZELLCHEMITth'g Dﬂrmﬂudl ‘ DR ALFRED HÜTHIG VERLAG HEIDELBERG l i Inhaltsverzeichnis PG Physikalische Grundlagen ‘ , v l7 Gegenstand der Vakuumtechnik 17 Gase und Dämpfe I7 Der Begriff »Vakuum« 17 Gasdruck 18 Druckbereiche der Vakuumtechnik l 20 Aufbau einer Vakuumanlage und Symbole der Bauelemente 20 Eigenschaften verdünnter Gase ' 21 Thermodynamische Beschreibung ' 21 Ideale Gase 21 Reale Gase und Dämpfe 24 Phasenumwandlungen ‚ 25 Beschreibung des idealen Gases durch die kinetische Gastheorie l 28 Maxwellsche Geschwindigkeitsverteilung ‚I A 28 Eigenschaften eines Gases im thermodynamischen Gleichgewicht 30 Transportvorgänge ‚ 33 System Festkörperoberﬂäclie - Gas 35 - Deﬁnitionen 35 Bindungskräfte und energien 36 Mittlere Verweilzeit und Oberﬂächenwanderung 42 Desorption l 44 Kinetik der Adsorption und Desorption 49 Adsorptionsuntersuchungen mit vakuumphysikalischen Methoden 53 Flash-Filament-Technik 54 Thermische Desorptionsspektrometrie A 55 Oberﬁächenbestimmung mittels Adsorptionsmethoden 57 Löslichkeit von Gasen in Metallen _ 58 Gasabgabe von Festkörpern 59 Permeation 64 ' Gassträmungen Ä 66 Deﬁnitionen 66 Strömung durch Verbindungselemente l l ‚ 67 Strömungswiderstände 68 Viskose Strömung durch Rohre 69 Turbulente Strömung durch lange zylindrische Rohre mit kreis- förmigem Querschnitt 73 Strömung durch Düsen oder Blenden bei hohem Druck 73 Molekulare Strömung 74 Strömung im Zwischengebiet : 79 12 Inhaltsverzeichnis 1436 Strömungsleitwerte komplizierter Bauelemente 79 1437 Abhängigkeit der Strömungsleitwerte von der Temperatur und der Gasart 81 144 Strömungsvorgänge bei Adsorption und Desorption 32 145 Zeitlicher Druckverlauf beim Abpumpprozeß 84 “ 7a 2 Vakuumeneugung 86 u21 Einteilung der Vakuumpumpen 86 2 2 Transport- oder Förderpimipen 86 221 Verdrängerpumpen 86 222 Treibmittelpumpen 95 223 Molekular- und Turbomolekularpumpen 104 2 3 Speicherpumpcn 107 231 Getter 107 232 Sorptionspumpen 107 233 Getterpumpen 234 lonengetterpumpen 235 Kryopumpen 2351 Kondensationspumpen 2352 Kryosorptionspumpcn 121 2 4 Kombinationen von Pumpen 124 241 Gebräuchliche Pumpenkombinationen 124 242 Dimensionierung hintereinandergeschalteter Pumpen 124 243 Dimensionierung des Vorvakuumgel‘aßes 128 244 Ausnutzungsgrad einer Vakuumpumpe 129 2 5 Zubehör zu Vakuumpumpen 251 Sorptionsfallen 252 Katalysatorfallen ‚ 253 Öldampfsperren und Kühlfallen I30 254 lonenbaffle 132 255 Kondensatoren 133 T 3 Totaldruckmessung - 135 O31 Übersicht ‚ 135 3 2 Mechanische Manameter 136 321 Bourdon-Rohr I36 322 Membranmanometer 323 Modulationsmanometer 324 U-Rohr-Manometer 325 Kompressionsmanometer Inhaltsverzeichnis ‚ 13 ’ 3 3 Wärmeleilungsmanometer 144 3 4 Reibungsmanometer 148 341 Messung der inneren Reibung aus der Dämpfung von Pendel- schwingungen 148 342 Reibungsmanometer mit kontinuierlicher oder quasikontinuier- licher Anzeige 150 3 5 Radiometermanomcter 7 150 3 6 Ionisationsmanometer 153 361 Grundprinzip 153 362 Glühkatoden—Ionisationsmanometer 153 363 Sonderformen von Glühkatoden-Ionisationsmanometem für hohe und niedrige Drücke 157 364 Druckmeßfehler und Störeﬁ'ekte bei Glühkatoden-Ionisations- - manometem 161 365 Kaltkatoden-Ionisationsmanometer 163 366 Kaltkatoden-Ionisationsmanometer für niedrige Drücke ; 165 3 7 Kalibrieren von Vakuummeßgeräten 168 3 8 Vakuummeßtechnische Probleme 170 381 Messung von Strömungswiderständcn 170 382 Messung der Gasabgaberate 383 Messung des Saugvermögens von Vakuumpumpen 172 P 4 Partialdruckmessung 175 a41 Allgemeines 175 4 2 Ionenerzeugung 178 4 3 Ionennachweis ; ‘ 178 431 Elektrometrische Ionenstrommessung 178 432 Nachweis mit Sekundärelektronenvervielfachem (SEV) 179 433 Ionenzählung 179 4 4 Trennsysteme 181 441 Magnetfeld-Massenspektrometer 181 442 Zykloiden-Massenspektrometer 183 443 Flugzeit- oder Laufzeit-Massenspektrometer (TOF-Massenspektro- meter) 184 444 Laufzeit-Resonanz-Massenspektrometer 185 445 Omegatron-Massenspektrometer 187 446 Quadrupol-Massenspektrometer 188 447 Monopol-Massenspektrometer 189 4 5 Druckwandler „ 190 4 6 Interpretation der Massenspektren 191 14 Inhaltsverzeichnis I 5 Leckratemessung und Lecksuche 195 e51 Allgemeines ' 195 5 2 Leckrateniessnng 197 521 Abpumpverfahren mit direkter Gasstrommessung 198 522 Abpumpverfahren mit indirekter Gasstrommessung -- 199 523 Druckanstiegsmethode 200 524 Druckanstiegsmethode mit Hilfsrezipient 201 5 3 Lecklokalisotion 202 531 Lecklokalisation mit dem Platin-Halogen-Lecksuchgeriit 202 532 Lecklokalisation mit dem Helium-Massenspektromcter 203 533 Lecklokalisation mit dem Quadrupol-Massenspektrometer 206 534 Lecklokalisation mit Hilfe der gasspeziﬁschen Anzeige von Total— druckmeßgeräten 206 5341 Lecklokalisation mit Ionisationsmanometem -- 306 5342 Lecklokalisalion mit Wärmeleitungsmanometern 203 535 Lecklokalisation mit Überdruck im Prüfling 209 5351 Druckabfallmethode 209 5352 Blasenmethode 210 5353 Überdruck-Lecksuchverfahren mit dem Helium-Leckschnüﬂ' 1er 210 5354 Überdruck-Lecksuchverfahren mit dem Platin—Halogen-Leck- schnüﬂ'ler 211 5 4 Zeitkonstanten einer Prüfanordnung 211 355 Praktische Hinweise 214 5 6 Wahl der Methoden bei der Dichtheitsprüfung 216 Ba 6 Bauelemente, Hilfsstoﬂ'e und -technologien 218 6 ] Verbindungen :Wischen Vakuumbauelementen 213 611 Schlauchverbindungen 218 612 Faltenbalgverbindungen 220 613 Schliﬂverbindungen 614 Flanschverbindungen 615 Flüssigkeitsdichtungen 616 Verbindung von Metallrohren mit Glas- oder Keramikrohreu 231 6 2 Vakuumdurchführungen 232 62] Bewegungsdurchführungen 622 Flüssigkeitsdurchführungen 623 Elektrische Durchführungen 624 Durchführungen für Strahlung 6 3 Vakuumbauelemenle 240 631 Allgemeines 240 632 Rohrleitungsbauelemente 240 / Inhaltsverzeichnis -'Il5 633 Absperr- und Drosselorgane 243 6 4 Hilﬁrtechnologien ' 252 641 Allgemeines ' 252' 642 Oberﬂächenbehandlung von Metallen 252 643 Oberﬂächenbehandlung von Gläsern 256 644 Oberﬂächenbehandlung von Keramik 258 645 Oberﬂächenbehandlung von Elastomeren 258 646 Vakuumhygiene 259 647 Verfahren zur Senkung der Gasabgaberate 259 648 Schmierung im Vakuum 260 ’- 7 Arbeitsschutz 261 r71 Implosionswirkung 261 7 2 Umgang mit Kühl— bzw Kälte/Mitteln l 261 7 3 Umgang mit Reinigungs- und Lösungsmitteln 262 7 4 Umgang mit I’umpentreib- und Sclnniermitteln 264 ’- 8 Anwendungsbeispiele der Vakuumtechnik 266 n 8J Einsatzgebiete der Vakuumtechnik 266 8 2 Vakuumanlogen der Kernphysik 268 821 Wirkungsweise von Beschleunigem 268 822 Einﬂuß von Gasen auf den Betrieb von Beschleunigem und Spei- cherringen 270 823 Vakuumanlagen bei Linearbeschleunigem 270 824 Vakuumanlagen bei Kreisbeschleunigern 274 825 Vakuumanlagen bei Speicherringen 275 8 3 Vakuumanlogen in der Oberﬂächenanalytik 278 831 Überblick über Oberﬂächenanalysenverfahren 278 832 Vakuumtechnische Forderungen an Oberﬂächenanalysengeräte 280 833 Vakuumtechnische Dimensionierung von Oberﬂächenanalysen- geräten 290 8 4 Vakuumtechnik in der Mikroelektronik 293 841 Technologien der Mikroelektronik 293 842 Vakuumtechnische Forderungen bei der Produktion mikroelektro- nischer Bauelemente 293 843 Vakuumanlagen für korrosive, giftige, explosive und staubbeladene Gase 295 16 Inhaltsverzeichnis 8 5 VnL- '-: ‚ P, u de, nJrro ‚um-t - 851 Erforderliche Drücke --c- 852 Aufbau von Bedampfungsanlagen 8 6 Gefriertrocknung 1- - - LV Literaturverzeichnis - - i 31V Stichwortverzeichnis ---- “mv—A; 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