Ion implantation in semiconductors:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Vaduz Sci-Tech Publ. 1988
Schriftenreihe:Diffusion and defect data B, Solid state phenomena ; 1/2
Schlagworte:
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:V, 473 S. Ill., graph. Darst.

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