Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung:
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karl-Marx-Stadt
Der Rektor d. Techn. Hochsch. Karl-Marx-Stadt
1985
|
| Schriftenreihe: | Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... .
1985,4. |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | II, 73 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV002051025 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20191220 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 890928s1985 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)246650035 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV002051025 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-83 |a DE-11 |a DE-B1550 | ||
| 050 | 0 | |a TA2020 | |
| 082 | 0 | |a 621.044 |2 20 | |
| 084 | |a PHY 572f |2 stub | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung |c Urheber: Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt> / Sektion Physik, Elektronische Bauelemente. Mitarb.: Hans-Ullrich Poll* |
| 264 | 1 | |a Karl-Marx-Stadt |b Der Rektor d. Techn. Hochsch. Karl-Marx-Stadt |c 1985 | |
| 300 | |a II, 73 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... . |v 1985,4. | |
| 650 | 4 | |a Plasma electrodynamics | |
| 650 | 4 | |a Plasma engineering | |
| 650 | 4 | |a Plasma etching | |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Glimmentladung |0 (DE-588)4157609-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Perfluoralkane |0 (DE-588)4173739-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Perfluoralkane |0 (DE-588)4173739-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Glimmentladung |0 (DE-588)4157609-3 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Perfluoralkane |0 (DE-588)4173739-8 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Poll, Hans-Ullrich |e Sonstige |4 oth | |
| 710 | 2 | |a Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt |b Sektion Physik/Elektronische Bauelemente |e Sonstige |0 (DE-588)2036053-8 |4 oth | |
| 830 | 0 | |a Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... . |v 1985,4. |w (DE-604)BV000895810 |9 1985,4. | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001341190 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804116501000617984 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV002051025 |
| callnumber-first | T - Technology |
| callnumber-label | TA2020 |
| callnumber-raw | TA2020 |
| callnumber-search | TA2020 |
| callnumber-sort | TA 42020 |
| callnumber-subject | TA - General and Civil Engineering |
| classification_tum | PHY 572f |
| ctrlnum | (OCoLC)246650035 (DE-599)BVBBV002051025 |
| dewey-full | 621.044 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 621 - Applied physics |
| dewey-raw | 621.044 |
| dewey-search | 621.044 |
| dewey-sort | 3621.044 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| discipline | Physik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01917nam a2200457 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV002051025</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20191220 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">890928s1985 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246650035</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV002051025</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-B1550</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">TA2020</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.044</subfield><subfield code="2">20</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 572f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung</subfield><subfield code="c">Urheber: Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt> / Sektion Physik, Elektronische Bauelemente. Mitarb.: Hans-Ullrich Poll*</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karl-Marx-Stadt</subfield><subfield code="b">Der Rektor d. Techn. Hochsch. Karl-Marx-Stadt</subfield><subfield code="c">1985</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 73 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... .</subfield><subfield code="v">1985,4.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Plasma electrodynamics</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Plasma engineering</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Plasma etching</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Glimmentladung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157609-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Perfluoralkane</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173739-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Perfluoralkane</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173739-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Glimmentladung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157609-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Perfluoralkane</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173739-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Poll, Hans-Ullrich</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="710" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt</subfield><subfield code="b">Sektion Physik/Elektronische Bauelemente</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)2036053-8</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... .</subfield><subfield code="v">1985,4.</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000895810</subfield><subfield code="9">1985,4.</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001341190</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV002051025 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:39:30Z |
| institution | BVB |
| institution_GND | (DE-588)2036053-8 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001341190 |
| oclc_num | 246650035 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-83 DE-11 DE-B1550 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-83 DE-11 DE-B1550 |
| physical | II, 73 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1985 |
| publishDateSearch | 1985 |
| publishDateSort | 1985 |
| publisher | Der Rektor d. Techn. Hochsch. Karl-Marx-Stadt |
| record_format | marc |
| series | Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... . |
| series2 | Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... . |
| spelling | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Urheber: Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt> / Sektion Physik, Elektronische Bauelemente. Mitarb.: Hans-Ullrich Poll* Karl-Marx-Stadt Der Rektor d. Techn. Hochsch. Karl-Marx-Stadt 1985 II, 73 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... . 1985,4. Plasma electrodynamics Plasma engineering Plasma etching Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd rswk-swf Glimmentladung (DE-588)4157609-3 gnd rswk-swf Perfluoralkane (DE-588)4173739-8 gnd rswk-swf Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 s Perfluoralkane (DE-588)4173739-8 s DE-604 Glimmentladung (DE-588)4157609-3 s Poll, Hans-Ullrich Sonstige oth Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente Sonstige (DE-588)2036053-8 oth Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... . 1985,4. (DE-604)BV000895810 1985,4. |
| spellingShingle | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt>: Wissenschaftliche Schriftenreihe der ... . Plasma electrodynamics Plasma engineering Plasma etching Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd Glimmentladung (DE-588)4157609-3 gnd Perfluoralkane (DE-588)4173739-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4174821-9 (DE-588)4157609-3 (DE-588)4173739-8 |
| title | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung |
| title_auth | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung |
| title_exact_search | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung |
| title_full | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Urheber: Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt> / Sektion Physik, Elektronische Bauelemente. Mitarb.: Hans-Ullrich Poll* |
| title_fullStr | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Urheber: Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt> / Sektion Physik, Elektronische Bauelemente. Mitarb.: Hans-Ullrich Poll* |
| title_full_unstemmed | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Urheber: Technische Hochschule <Karl-Marx-Stadt> / Sektion Physik, Elektronische Bauelemente. Mitarb.: Hans-Ullrich Poll* |
| title_short | Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung |
| title_sort | die glimmentladung in perfluorierten gasen zum plasmaatzen und zur schichtabscheidung |
| topic | Plasma electrodynamics Plasma engineering Plasma etching Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd Glimmentladung (DE-588)4157609-3 gnd Perfluoralkane (DE-588)4173739-8 gnd |
| topic_facet | Plasma electrodynamics Plasma engineering Plasma etching Plasmaätzen Glimmentladung Perfluoralkane |
| volume_link | (DE-604)BV000895810 |
| work_keys_str_mv | AT pollhansullrich dieglimmentladunginperfluoriertengasenzumplasmaatzenundzurschichtabscheidung AT technischehochschulekarlmarxstadtsektionphysikelektronischebauelemente dieglimmentladunginperfluoriertengasenzumplasmaatzenundzurschichtabscheidung |