Herstellung und Charakterisierung ionenimplantierter Silizium-Mesfets:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Zimmermann, Frank (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Dortmund 1982
Schlagworte:
Beschreibung:Dortmund, Univ., Diss.
Beschreibung:86 S. Ill., graph. Darst.

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