Stuart, R. V. (1983). Vacuum technology, thin films, and sputtering: An introd. Acad. Pr.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Stuart, R. V. Vacuum Technology, Thin Films, and Sputtering: An Introd. New York (u.a.): Acad. Pr, 1983.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Stuart, R. V. Vacuum Technology, Thin Films, and Sputtering: An Introd. Acad. Pr, 1983.
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