Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Opladen
Westdt. Verl.
1982
|
| Schriftenreihe: | Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ...
3133. |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 42 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3531031333 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV002019538 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19930311 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 890928s1982 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3531031333 |9 3-531-03133-3 | ||
| 035 | |a (OCoLC)299635266 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV002019538 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-739 |a DE-355 |a DE-824 | ||
| 084 | |a AV 20000 |0 (DE-625)8666: |2 rvk | ||
| 084 | |a UX 2150 |0 (DE-625)146948: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 334f |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Höfflinger, Bernd |e Verfasser |0 (DE-588)172145058 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden |c Bernd Höfflinger ; Günter Zimmer ; Heinz Gerd Graf |
| 264 | 1 | |a Opladen |b Westdt. Verl. |c 1982 | |
| 300 | |a 42 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ... |v 3133. | |
| 650 | 0 | 7 | |a Photodiode |0 (DE-588)4136942-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MOS-Schaltung |0 (DE-588)4135571-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Getter |0 (DE-588)4157222-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Getterung |0 (DE-588)4157223-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Photodiode |0 (DE-588)4136942-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Getter |0 (DE-588)4157222-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Photodiode |0 (DE-588)4136942-7 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a MOS-Schaltung |0 (DE-588)4135571-4 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Getterung |0 (DE-588)4157223-3 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Zimmer, Günter |e Verfasser |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Graf, Heinz Gerd |e Verfasser |4 aut | |
| 830 | 0 | |a Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ... |v 3133. |w (DE-604)BV001889757 |9 3133 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001318983 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804116468645756928 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Höfflinger, Bernd Zimmer, Günter Graf, Heinz Gerd |
| author_GND | (DE-588)172145058 |
| author_facet | Höfflinger, Bernd Zimmer, Günter Graf, Heinz Gerd |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Höfflinger, Bernd |
| author_variant | b h bh g z gz h g g hg hgg |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV002019538 |
| classification_rvk | AV 20000 UX 2150 |
| classification_tum | ELT 334f |
| ctrlnum | (OCoLC)299635266 (DE-599)BVBBV002019538 |
| discipline | Allgemeines Physik Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01906nam a2200493 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV002019538</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19930311 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">890928s1982 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3531031333</subfield><subfield code="9">3-531-03133-3</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)299635266</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV002019538</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-824</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">AV 20000</subfield><subfield code="0">(DE-625)8666:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UX 2150</subfield><subfield code="0">(DE-625)146948:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 334f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Höfflinger, Bernd</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)172145058</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden</subfield><subfield code="c">Bernd Höfflinger ; Günter Zimmer ; Heinz Gerd Graf</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Opladen</subfield><subfield code="b">Westdt. Verl.</subfield><subfield code="c">1982</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">42 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ...</subfield><subfield code="v">3133.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Photodiode</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136942-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MOS-Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135571-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Getter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157222-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Getterung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157223-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Photodiode</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136942-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Getter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157222-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Photodiode</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136942-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">MOS-Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135571-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Getterung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157223-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Zimmer, Günter</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Graf, Heinz Gerd</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ...</subfield><subfield code="v">3133.</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV001889757</subfield><subfield code="9">3133</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001318983</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV002019538 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:38:59Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3531031333 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001318983 |
| oclc_num | 299635266 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-739 DE-355 DE-BY-UBR DE-824 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-739 DE-355 DE-BY-UBR DE-824 |
| physical | 42 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1982 |
| publishDateSearch | 1982 |
| publishDateSort | 1982 |
| publisher | Westdt. Verl. |
| record_format | marc |
| series | Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ... |
| series2 | Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ... |
| spelling | Höfflinger, Bernd Verfasser (DE-588)172145058 aut Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden Bernd Höfflinger ; Günter Zimmer ; Heinz Gerd Graf Opladen Westdt. Verl. 1982 42 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ... 3133. Photodiode (DE-588)4136942-7 gnd rswk-swf MOS-Schaltung (DE-588)4135571-4 gnd rswk-swf Getter (DE-588)4157222-1 gnd rswk-swf Getterung (DE-588)4157223-3 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Photodiode (DE-588)4136942-7 s Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s Getter (DE-588)4157222-1 s DE-604 MOS-Schaltung (DE-588)4135571-4 s Getterung (DE-588)4157223-3 s Zimmer, Günter Verfasser aut Graf, Heinz Gerd Verfasser aut Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ... 3133. (DE-604)BV001889757 3133 |
| spellingShingle | Höfflinger, Bernd Zimmer, Günter Graf, Heinz Gerd Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte d. Landes ... Photodiode (DE-588)4136942-7 gnd MOS-Schaltung (DE-588)4135571-4 gnd Getter (DE-588)4157222-1 gnd Getterung (DE-588)4157223-3 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136942-7 (DE-588)4135571-4 (DE-588)4157222-1 (DE-588)4157223-3 (DE-588)4027606-5 |
| title | Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden |
| title_auth | Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden |
| title_exact_search | Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden |
| title_full | Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden Bernd Höfflinger ; Günter Zimmer ; Heinz Gerd Graf |
| title_fullStr | Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden Bernd Höfflinger ; Günter Zimmer ; Heinz Gerd Graf |
| title_full_unstemmed | Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden Bernd Höfflinger ; Günter Zimmer ; Heinz Gerd Graf |
| title_short | Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden |
| title_sort | einfluß von getterprozessen auf die eigenschaften von ionenimplantierten integrierten fotodioden |
| topic | Photodiode (DE-588)4136942-7 gnd MOS-Schaltung (DE-588)4135571-4 gnd Getter (DE-588)4157222-1 gnd Getterung (DE-588)4157223-3 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd |
| topic_facet | Photodiode MOS-Schaltung Getter Getterung Ionenimplantation |
| volume_link | (DE-604)BV001889757 |
| work_keys_str_mv | AT hofflingerbernd einflußvongetterprozessenaufdieeigenschaftenvonionenimplantiertenintegriertenfotodioden AT zimmergunter einflußvongetterprozessenaufdieeigenschaftenvonionenimplantiertenintegriertenfotodioden AT grafheinzgerd einflußvongetterprozessenaufdieeigenschaftenvonionenimplantiertenintegriertenfotodioden |