Townsend, P. D., Kelly, J. C., & Hartley, N. E. (1976). Ion implantation, sputtering and their applications. Academic Pr.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Townsend, P. D., John C. Kelly, und N. E. Hartley. Ion Implantation, Sputtering and Their Applications. London: Academic Pr, 1976.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Townsend, P. D., et al. Ion Implantation, Sputtering and Their Applications. Academic Pr, 1976.
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