Einfluß von Verunreinigungen von Quarz auf die Reinheit geglühter Halbleiteroberflächen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Fränz, Ilse (VerfasserIn), Langheinrich, Werner (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: München ZLDI 1968
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Wissenschaftl. Forschung: Forschungsber. Weltraumforschung. 1968,69.
Schlagworte:
Beschreibung:23 S.

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