Anpassung der spektralen Verteilung der Synchrotronstrahlung für die Röntgentiefenlithografie:
Gespeichert in:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum Karlsruhe
1989
|
| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
4579 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Literaturverz. S. 80 - 82. - Zugl.: Bonn, Univ., Diss. |
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