Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1985
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 88 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV001255028 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 890315s1985 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)246673082 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV001255028 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-19 |a DE-703 |a DE-355 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Langfeld, Roland |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung |
| 264 | 1 | |c 1985 | |
| 300 | |a 88 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Frankfurt am Main, Univ., Diss., 1985 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Strahlenschaden |0 (DE-588)4057825-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ausheilung |0 (DE-588)4192968-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 655 | 7 | |a Elektronenstrahlausheilung |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 689 | 0 | 0 | |a Strahlenschaden |0 (DE-588)4057825-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Ausheilung |0 (DE-588)4192968-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Strahlenschaden |0 (DE-588)4057825-2 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Elektronenstrahlausheilung |A f |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 940 | 1 | |q TUB-nvmb | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000754810 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804115646460461056 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Langfeld, Roland |
| author_facet | Langfeld, Roland |
| author_role | aut |
| author_sort | Langfeld, Roland |
| author_variant | r l rl |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV001255028 |
| ctrlnum | (OCoLC)246673082 (DE-599)BVBBV001255028 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01608nam a2200445 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV001255028</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">890315s1985 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246673082</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV001255028</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Langfeld, Roland</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1985</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">88 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Frankfurt am Main, Univ., Diss., 1985</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Strahlenschaden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4057825-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ausheilung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4192968-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Elektronenstrahlausheilung</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Strahlenschaden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4057825-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Ausheilung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4192968-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Strahlenschaden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4057825-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Elektronenstrahlausheilung</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">TUB-nvmb</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000754810</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Elektronenstrahlausheilung gnd |
| genre_facet | Hochschulschrift Elektronenstrahlausheilung |
| id | DE-604.BV001255028 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:25:55Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000754810 |
| oclc_num | 246673082 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-19 DE-BY-UBM DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-19 DE-BY-UBM DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | 88 S. Ill., graph. Darst. |
| psigel | TUB-nvmb |
| publishDate | 1985 |
| publishDateSearch | 1985 |
| publishDateSort | 1985 |
| record_format | marc |
| spelling | Langfeld, Roland Verfasser aut Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung 1985 88 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Frankfurt am Main, Univ., Diss., 1985 Strahlenschaden (DE-588)4057825-2 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Ausheilung (DE-588)4192968-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Elektronenstrahlausheilung gnd rswk-swf Strahlenschaden (DE-588)4057825-2 s Ausheilung (DE-588)4192968-8 s Silicium (DE-588)4077445-4 s Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s DE-604 Elektronenstrahlausheilung f |
| spellingShingle | Langfeld, Roland Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung Strahlenschaden (DE-588)4057825-2 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Ausheilung (DE-588)4192968-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4057825-2 (DE-588)4027606-5 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4192968-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung |
| title_auth | Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung |
| title_exact_search | Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung |
| title_full | Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung |
| title_fullStr | Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung |
| title_full_unstemmed | Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung |
| title_short | Untersuchung des Ausheilverhaltens von Strahlenschäden in ionenimplantiertem Silizium während der Elektronenstrahlausheilung |
| title_sort | untersuchung des ausheilverhaltens von strahlenschaden in ionenimplantiertem silizium wahrend der elektronenstrahlausheilung |
| topic | Strahlenschaden (DE-588)4057825-2 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Ausheilung (DE-588)4192968-8 gnd |
| topic_facet | Strahlenschaden Ionenimplantation Silicium Ausheilung Hochschulschrift Elektronenstrahlausheilung |
| work_keys_str_mv | AT langfeldroland untersuchungdesausheilverhaltensvonstrahlenschadeninionenimplantiertemsiliziumwahrendderelektronenstrahlausheilung |