Improvements in the properties of NbN layers through the presence of small amounts of aluminium during sputtering:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Haase, E. L. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
German
Veröffentlicht: Karlsruhe 1988
Schriftenreihe:Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe 4409
Beschreibung:9 S.

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