Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung:
Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Mohr, J. (Author)
Format: Book
Language:English
German
Published: Karlsruhe 1988
Series:Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe 4414
Subjects:
Item Description:Zugl.: Karlsruhe, T. H., Diss.
Physical Description:96 S.

There is no print copy available.

Interlibrary loan Place Request Caution: Not in THWS collection!