Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
1988
|
| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe
4414 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, T. H., Diss. |
| Beschreibung: | 96 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV000838318 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 881122s1988 m||| 00||| eng d | ||
| 035 | |a (OCoLC)35486371 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV000838318 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a eng |a ger | |
| 049 | |a DE-12 | ||
| 100 | 1 | |a Mohr, J. |e Verfasser |0 (DE-588)127861653 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |c J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer |
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |c 1988 | |
| 300 | |a 96 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe |v 4414 | |
| 500 | |a Zugl.: Karlsruhe, T. H., Diss. | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 830 | 0 | |a Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe |v 4414 |w (DE-604)BV000904814 |9 4414 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000526487 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804115292764241920 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Mohr, J. |
| author_GND | (DE-588)127861653 |
| author_facet | Mohr, J. |
| author_role | aut |
| author_sort | Mohr, J. |
| author_variant | j m jm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV000838318 |
| ctrlnum | (OCoLC)35486371 (DE-599)BVBBV000838318 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01081nam a2200289 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV000838318</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">881122s1988 m||| 00||| eng d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)35486371</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV000838318</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">eng</subfield><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mohr, J.</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)127861653</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung</subfield><subfield code="c">J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="c">1988</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">96 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe</subfield><subfield code="v">4414</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, T. H., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe</subfield><subfield code="v">4414</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000904814</subfield><subfield code="9">4414</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000526487</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV000838318 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:20:18Z |
| institution | BVB |
| language | English German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000526487 |
| oclc_num | 35486371 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 |
| owner_facet | DE-12 |
| physical | 96 S. |
| publishDate | 1988 |
| publishDateSearch | 1988 |
| publishDateSort | 1988 |
| record_format | marc |
| series | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe |
| series2 | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe |
| spelling | Mohr, J. Verfasser (DE-588)127861653 aut Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer Karlsruhe 1988 96 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe 4414 Zugl.: Karlsruhe, T. H., Diss. (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe 4414 (DE-604)BV000904814 4414 |
| spellingShingle | Mohr, J. Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |
| title_auth | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |
| title_exact_search | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |
| title_full | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer |
| title_fullStr | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer |
| title_full_unstemmed | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer |
| title_short | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |
| title_sort | analyse der defektursachen und der genauigkeit der strukturubertragung bei der rontgentiefenlithographie mit synchrotronstrahlung |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV000904814 |
| work_keys_str_mv | AT mohrj analysederdefektursachenunddergenauigkeitderstrukturubertragungbeiderrontgentiefenlithographiemitsynchrotronstrahlung |