Mohr, J. (1988). Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mohr, J. Analyse Der Defektursachen Und Der Genauigkeit Der Strukturübertragung Bei Der Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung. Karlsruhe, 1988.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mohr, J. Analyse Der Defektursachen Und Der Genauigkeit Der Strukturübertragung Bei Der Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung. 1988.
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