Integrated circuits: chemical and physical processing ; developed from the winter symposium ... University of California - Davis, March 26 - 27, 1984
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Washington, DC American Chemical Soc. 1985
Schriftenreihe:American Chemical Society: ACS symposium series 290
Schlagworte:
Beschreibung:IX, 348 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0841209405

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