Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Fachinformationszentrum
1985
|
Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T
1985,133 |
Schlagworte: | |
Beschreibung: | 89 S. |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV000386131 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 00000000000000.0 | ||
007 | t | ||
008 | 870612s1985 |||| 00||| ger d | ||
035 | |a (OCoLC)74762900 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV000386131 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
049 | |a DE-12 | ||
100 | 1 | |a Voss, Heinz-Jürgen |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie |c von Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten |
250 | |a Als Ms. gedr. | ||
264 | 1 | |a Karlsruhe |b Fachinformationszentrum |c 1985 | |
300 | |a 89 S. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T |v 1985,133 | |
650 | 7 | |a Selektive Epitaxie |2 swd | |
650 | 7 | |a Silicium |2 swd | |
650 | 0 | 7 | |a Selektive Epitaxie |0 (DE-588)4659870-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Epitaxie |0 (DE-588)4152545-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |a Niederdruckepitaxie |2 swd | |
655 | 7 | |a Niederdruckepitaxie |2 gnd |9 rswk-swf | |
689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Niederdruckepitaxie |A f |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
689 | 1 | 1 | |a Epitaxie |0 (DE-588)4152545-0 |D s |
689 | 1 | |5 DE-604 | |
689 | 2 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
689 | 2 | 1 | |a Selektive Epitaxie |0 (DE-588)4659870-4 |D s |
689 | 2 | |8 1\p |5 DE-604 | |
810 | 2 | |a Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T |t Deutschland <Bundesrepublik> |v 1985,133 |w (DE-604)BV000004400 |9 1985,133 | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000239569 | ||
883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804114846902386688 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Voss, Heinz-Jürgen |
author_facet | Voss, Heinz-Jürgen |
author_role | aut |
author_sort | Voss, Heinz-Jürgen |
author_variant | h j v hjv |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV000386131 |
ctrlnum | (OCoLC)74762900 (DE-599)BVBBV000386131 |
edition | Als Ms. gedr. |
format | Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01788nam a2200481 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV000386131</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">870612s1985 |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74762900</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV000386131</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Voss, Heinz-Jürgen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie</subfield><subfield code="c">von Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum</subfield><subfield code="c">1985</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">89 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T</subfield><subfield code="v">1985,133</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Selektive Epitaxie</subfield><subfield code="2">swd</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="2">swd</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Selektive Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4659870-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152545-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Niederdruckepitaxie</subfield><subfield code="2">swd</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Niederdruckepitaxie</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Niederdruckepitaxie</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152545-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Selektive Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4659870-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T</subfield><subfield code="t">Deutschland <Bundesrepublik></subfield><subfield code="v">1985,133</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">1985,133</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000239569</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
genre | Niederdruckepitaxie swd Niederdruckepitaxie gnd |
genre_facet | Niederdruckepitaxie |
id | DE-604.BV000386131 |
illustrated | Not Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T15:13:13Z |
institution | BVB |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000239569 |
oclc_num | 74762900 |
open_access_boolean | |
owner | DE-12 |
owner_facet | DE-12 |
physical | 89 S. |
publishDate | 1985 |
publishDateSearch | 1985 |
publishDateSort | 1985 |
publisher | Fachinformationszentrum |
record_format | marc |
series2 | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T |
spelling | Voss, Heinz-Jürgen Verfasser aut Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie von Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten Als Ms. gedr. Karlsruhe Fachinformationszentrum 1985 89 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1985,133 Selektive Epitaxie swd Silicium swd Selektive Epitaxie (DE-588)4659870-4 gnd rswk-swf Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Niederdruckepitaxie swd Niederdruckepitaxie gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 s Niederdruckepitaxie f DE-604 Epitaxie (DE-588)4152545-0 s Selektive Epitaxie (DE-588)4659870-4 s 1\p DE-604 Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T Deutschland <Bundesrepublik> 1985,133 (DE-604)BV000004400 1985,133 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
spellingShingle | Voss, Heinz-Jürgen Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie Selektive Epitaxie swd Silicium swd Selektive Epitaxie (DE-588)4659870-4 gnd Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd |
subject_GND | (DE-588)4659870-4 (DE-588)4152545-0 (DE-588)4077445-4 |
title | Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie |
title_auth | Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie |
title_exact_search | Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie |
title_full | Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie von Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten |
title_fullStr | Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie von Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten |
title_full_unstemmed | Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie von Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten |
title_short | Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie |
title_sort | selektive silizium niederdruckepitaxie |
topic | Selektive Epitaxie swd Silicium swd Selektive Epitaxie (DE-588)4659870-4 gnd Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd |
topic_facet | Selektive Epitaxie Silicium Epitaxie Niederdruckepitaxie |
volume_link | (DE-604)BV000004400 |
work_keys_str_mv | AT vossheinzjurgen selektivesiliziumniederdruckepitaxie |