Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1984
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | III, 125 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV000317319 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 870612s1984 m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)256071665 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV000317319 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 |a DE-Aug4 |a DE-703 |a DE-355 |a DE-29T |a DE-706 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a ELT 286d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Arndt, Norbert |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung |
| 264 | 1 | |c 1984 | |
| 300 | |a III, 125 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Siegen, Univ.-Gesamthochschule, Diss., 1984 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Belichtung |0 (DE-588)4005413-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektronenstrahllithografie |0 (DE-588)4151897-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kompensation |0 (DE-588)4031980-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Patterngenerator |0 (DE-588)4173562-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Elektronenstrahllithografie |0 (DE-588)4151897-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Belichtung |0 (DE-588)4005413-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Kompensation |0 (DE-588)4031980-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Patterngenerator |0 (DE-588)4173562-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Elektronenstrahllithografie |0 (DE-588)4151897-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Patterngenerator |0 (DE-588)4173562-6 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 940 | 1 | |q TUB-nveb | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000194832 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804114782225170432 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Arndt, Norbert |
| author_facet | Arndt, Norbert |
| author_role | aut |
| author_sort | Arndt, Norbert |
| author_variant | n a na |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV000317319 |
| classification_tum | ELT 286d |
| ctrlnum | (OCoLC)256071665 (DE-599)BVBBV000317319 |
| discipline | Elektrotechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01559nam a2200433 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV000317319</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">870612s1984 m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)256071665</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV000317319</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-Aug4</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 286d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Arndt, Norbert</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1984</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 125 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Siegen, Univ.-Gesamthochschule, Diss., 1984</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Belichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005413-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektronenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151897-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kompensation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4031980-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Patterngenerator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173562-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Elektronenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151897-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Belichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005413-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Kompensation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4031980-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Patterngenerator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173562-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Elektronenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151897-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Patterngenerator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173562-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">TUB-nveb</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000194832</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV000317319 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:12:11Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000194832 |
| oclc_num | 256071665 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-Aug4 DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-706 DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-Aug4 DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-706 DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | III, 125 S. |
| psigel | TUB-nveb |
| publishDate | 1984 |
| publishDateSearch | 1984 |
| publishDateSort | 1984 |
| record_format | marc |
| spelling | Arndt, Norbert Verfasser aut Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung 1984 III, 125 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Siegen, Univ.-Gesamthochschule, Diss., 1984 Belichtung (DE-588)4005413-5 gnd rswk-swf Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd rswk-swf Kompensation (DE-588)4031980-5 gnd rswk-swf Patterngenerator (DE-588)4173562-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 s Belichtung (DE-588)4005413-5 s Kompensation (DE-588)4031980-5 s Patterngenerator (DE-588)4173562-6 s DE-604 |
| spellingShingle | Arndt, Norbert Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung Belichtung (DE-588)4005413-5 gnd Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd Kompensation (DE-588)4031980-5 gnd Patterngenerator (DE-588)4173562-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4005413-5 (DE-588)4151897-4 (DE-588)4031980-5 (DE-588)4173562-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung |
| title_auth | Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung |
| title_exact_search | Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung |
| title_full | Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung |
| title_fullStr | Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung |
| title_full_unstemmed | Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung |
| title_short | Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung |
| title_sort | patterngeneration fur elektronenstrahllithographie mit kompensationsbelichtung |
| topic | Belichtung (DE-588)4005413-5 gnd Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd Kompensation (DE-588)4031980-5 gnd Patterngenerator (DE-588)4173562-6 gnd |
| topic_facet | Belichtung Elektronenstrahllithografie Kompensation Patterngenerator Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT arndtnorbert patterngenerationfurelektronenstrahllithographiemitkompensationsbelichtung |