Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden:
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| Format: | Buch |
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| Veröffentlicht: |
Opladen
Westdt. Verl.
1982
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| Schriftenreihe: | Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte des Landes ...
3133 : Fachgruppe Elektrotechnik, Optik |
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