Silizium-Flüssigphasen-Epitaxie mit Lösungstransport durch Fliehkraft und Untersuchung und Charakterisierung der Silizium-Epitaxieschichten mit Hilfe der Transmissions-Elektronenmikroskopie:
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| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Fachinformationszentrum
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