Holdings: Aktivierung von Aluminium implantiert in 4H-SiC

Aktivierung von Aluminium implantiert in 4H-SiC:

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Bibliographic Details
Main Author:	Mletschnig, Kristijan Luka (Author)
Format:	Thesis Electronic eBook
Language:	German
Published:	Erlangen ; Nürnberg Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2025
Subjects:	Aluminium Siliciumcarbid Ionenimplantation Hochschulschrift
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