Hilleringmann, U. (2023). Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (8. Auflage.). Springer Vieweg.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 8. Auflage. Wiesbaden: Springer Vieweg, 2023.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 8. Auflage. Springer Vieweg, 2023.
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