Hilleringmann, U. (2023). Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (8. Aufage.). Springer Vieweg. https://doi.org/10.1007/978-3-658-42378-0
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 8. Aufage. Wiesbaden: Springer Vieweg, 2023. https://doi.org/10.1007/978-3-658-42378-0.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 8. Aufage. Springer Vieweg, 2023. https://doi.org/10.1007/978-3-658-42378-0.
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