Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Electronic eBook |
| Language: | German |
| Published: |
Erlangen ; Nürnberg
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Volltext Volltext Volltext |
| Physical Description: | 1 Online-Ressource Illustrationen, Diagramme |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000zc 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV048868307 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20240229 | ||
| 007 | cr|uuu---uuuuu | ||
| 008 | 230321s2023 gw a||| om||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 23,O04 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 1282378910 |2 DE-101 | |
| 024 | 7 | |a urn:nbn:de:bvb:29-opus4-217247 |2 urn | |
| 035 | |a (OCoLC)1374562264 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1282378910 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rda | ||
| 041 | 0 | |8 3\p |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE-BY | ||
| 049 | |a DE-384 |a DE-473 |a DE-703 |a DE-1051 |a DE-824 |a DE-29 |a DE-12 |a DE-91 |a DE-19 |a DE-1049 |a DE-92 |a DE-739 |a DE-898 |a DE-355 |a DE-706 |a DE-20 |a DE-1102 |a DE-860 |a DE-2174 | ||
| 084 | |8 1\p |a 530.4175 |2 23ksdnb | ||
| 084 | |8 2\p |a 530 |2 23sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Steiner, Johannes |0 (DE-588)1283946823 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum |c vorgelegt von Johannes Steiner |
| 246 | 1 | 3 | |a Experimental and numerical investigation of nitrogen doping and temperature field on dislocations in single-crystalline 100 mm 4H-SiC PVT growth |
| 264 | 1 | |a Erlangen ; Nürnberg |b Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |c 2023 | |
| 300 | |a 1 Online-Ressource |b Illustrationen, Diagramme | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |b cr |2 rdacarrier | ||
| 502 | |b Dissertation |c Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |d 2023 | ||
| 583 | 1 | |a Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet |5 DE-101 |2 pdager | |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kristallzüchtung |0 (DE-588)4140616-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 653 | |a Physical vapor transport | ||
| 653 | |a PVT-Wachstum | ||
| 653 | |a Silicon carbide | ||
| 653 | |a Siliziumkarbid | ||
| 653 | |a Nitrogen Doping | ||
| 653 | |a Stickstoffdotierung | ||
| 653 | |a Modeling | ||
| 653 | |a Modellierung | ||
| 653 | |a Basal plane dislocation | ||
| 653 | |a Basalebenenversetzung | ||
| 653 | |a Stress | ||
| 653 | |a Spannungen | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Kristallzüchtung |0 (DE-588)4140616-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-217247 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 0 | |u https://d-nb.info/1282378910/34 |x Langzeitarchivierung Nationalbibliothek |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 0 | |q application/pdf |u https://open.fau.de/handle/openfau/21724 |x Verlag |z kostenfrei |3 Volltext |
| 883 | 0 | |8 1\p |a aepkn |c 0,72688 |d 20230304 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#aepkn | |
| 883 | 0 | |8 2\p |a emasg |c 0,56327 |d 20230304 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#emasg | |
| 883 | 1 | |8 3\p |a npi |d 20230303 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#npi | |
| 912 | |a ebook | ||
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-034133264 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1817326310794461184 |
|---|---|
| adam_text | |
| adam_txt | |
| any_adam_object | |
| any_adam_object_boolean | |
| author | Steiner, Johannes |
| author_GND | (DE-588)1283946823 |
| author_facet | Steiner, Johannes |
| author_role | aut |
| author_sort | Steiner, Johannes |
| author_variant | j s js |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV048868307 |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)1374562264 (DE-599)DNB1282378910 |
| format | Thesis Electronic eBook |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000zc 4500</leader><controlfield tag="001">BV048868307</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20240229</controlfield><controlfield tag="007">cr|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">230321s2023 gw a||| om||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">23,O04</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1282378910</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">urn:nbn:de:bvb:29-opus4-217247</subfield><subfield code="2">urn</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)1374562264</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1282378910</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">3\p</subfield><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-BY</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-473</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-824</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-1049</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-1102</subfield><subfield code="a">DE-860</subfield><subfield code="a">DE-2174</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">530.4175</subfield><subfield code="2">23ksdnb</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">530</subfield><subfield code="2">23sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Steiner, Johannes</subfield><subfield code="0">(DE-588)1283946823</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Johannes Steiner</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Experimental and numerical investigation of nitrogen doping and temperature field on dislocations in single-crystalline 100 mm 4H-SiC PVT growth</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Erlangen ; Nürnberg</subfield><subfield code="b">Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg</subfield><subfield code="c">2023</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource</subfield><subfield code="b">Illustrationen, Diagramme</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg</subfield><subfield code="d">2023</subfield></datafield><datafield tag="583" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet</subfield><subfield code="5">DE-101</subfield><subfield code="2">pdager</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kristallzüchtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140616-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Physical vapor transport</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PVT-Wachstum</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Silicon carbide</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Siliziumkarbid</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Nitrogen Doping</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Stickstoffdotierung</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Modeling</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Modellierung</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Basal plane dislocation</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Basalebenenversetzung</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Stress</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Spannungen</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Kristallzüchtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140616-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-217247</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://d-nb.info/1282378910/34</subfield><subfield code="x">Langzeitarchivierung Nationalbibliothek</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">https://open.fau.de/handle/openfau/21724</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">aepkn</subfield><subfield code="c">0,72688</subfield><subfield code="d">20230304</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#aepkn</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">emasg</subfield><subfield code="c">0,56327</subfield><subfield code="d">20230304</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#emasg</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">3\p</subfield><subfield code="a">npi</subfield><subfield code="d">20230303</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#npi</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-034133264</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV048868307 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-03T21:43:40Z |
| indexdate | 2024-12-02T11:03:47Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-034133264 |
| oclc_num | 1374562264 |
| open_access_boolean | 1 |
| owner | DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102 DE-860 DE-2174 |
| owner_facet | DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102 DE-860 DE-2174 |
| physical | 1 Online-Ressource Illustrationen, Diagramme |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2023 |
| publishDateSearch | 2023 |
| publishDateSort | 2023 |
| publisher | Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |
| record_format | marc |
| spelling | Steiner, Johannes (DE-588)1283946823 aut Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum vorgelegt von Johannes Steiner Experimental and numerical investigation of nitrogen doping and temperature field on dislocations in single-crystalline 100 mm 4H-SiC PVT growth Erlangen ; Nürnberg Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2023 1 Online-Ressource Illustrationen, Diagramme txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Dissertation Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2023 Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet DE-101 pdager Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd rswk-swf Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd rswk-swf Physical vapor transport PVT-Wachstum Silicon carbide Siliziumkarbid Nitrogen Doping Stickstoffdotierung Modeling Modellierung Basal plane dislocation Basalebenenversetzung Stress Spannungen (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 s Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 s DE-604 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-217247 Resolving-System kostenfrei Volltext https://d-nb.info/1282378910/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek kostenfrei Volltext application/pdf https://open.fau.de/handle/openfau/21724 Verlag kostenfrei Volltext 1\p aepkn 0,72688 20230304 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#aepkn 2\p emasg 0,56327 20230304 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#emasg 3\p npi 20230303 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#npi |
| spellingShingle | Steiner, Johannes Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4055009-6 (DE-588)4140616-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum |
| title_alt | Experimental and numerical investigation of nitrogen doping and temperature field on dislocations in single-crystalline 100 mm 4H-SiC PVT growth |
| title_auth | Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum |
| title_exact_search | Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum |
| title_exact_search_txtP | Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum |
| title_full | Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum vorgelegt von Johannes Steiner |
| title_fullStr | Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum vorgelegt von Johannes Steiner |
| title_full_unstemmed | Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum vorgelegt von Johannes Steiner |
| title_short | Experimentelle und numerische Untersuchung von Stickstoffdotierung und Temperaturfeld auf Versetzungen in einkristallinem 100 mm 4H-SiC PVT-Wachstum |
| title_sort | experimentelle und numerische untersuchung von stickstoffdotierung und temperaturfeld auf versetzungen in einkristallinem 100 mm 4h sic pvt wachstum |
| topic | Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd |
| topic_facet | Siliciumcarbid Kristallzüchtung Hochschulschrift |
| url | https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-217247 https://d-nb.info/1282378910/34 https://open.fau.de/handle/openfau/21724 |
| work_keys_str_mv | AT steinerjohannes experimentelleundnumerischeuntersuchungvonstickstoffdotierungundtemperaturfeldaufversetzungenineinkristallinem100mm4hsicpvtwachstum AT steinerjohannes experimentalandnumericalinvestigationofnitrogendopingandtemperaturefieldondislocationsinsinglecrystalline100mm4hsicpvtgrowth |