MEMS mechanical sensors:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Boston Artech House 2004
Schriftenreihe:Microelectromechanical systems series
Schlagworte:
Beschreibung:Print version record
Beschreibung:1 online resource (x, 269 pages) illustrations
ISBN:1580538738
9781580538732
1580535364
9781580535366

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