Brodie, I., & Muray, J. J. (1982). The Physics of Microfabrication. Springer US. https://doi.org/10.1007/978-1-4899-2160-4
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Brodie, Ivor, und Julius J. Muray. The Physics of Microfabrication. Boston, MA: Springer US, 1982. https://doi.org/10.1007/978-1-4899-2160-4.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Brodie, Ivor, und Julius J. Muray. The Physics of Microfabrication. Springer US, 1982. https://doi.org/10.1007/978-1-4899-2160-4.
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