Oliver, M. R. (2004). Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials. Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-06234-0
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Oliver, Michael R. Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2004. https://doi.org/10.1007/978-3-662-06234-0.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Oliver, Michael R. Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials. Springer Berlin Heidelberg, 2004. https://doi.org/10.1007/978-3-662-06234-0.
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