Barnat, E. V., & Lu, T. (2003). Pulsed and Pulsed Bias Sputtering: Principles and Applications. Springer US. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-0411-5
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Barnat, Edward V., und Toh-Ming Lu. Pulsed and Pulsed Bias Sputtering: Principles and Applications. Boston, MA: Springer US, 2003. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-0411-5.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Barnat, Edward V., und Toh-Ming Lu. Pulsed and Pulsed Bias Sputtering: Principles and Applications. Springer US, 2003. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-0411-5.
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