Laserbasierte Formkorrektur von optischen Gläsern:
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Aachen
Shaker Verlag
2018
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1 ABSTRACT 1
2 EINLEITUNG 2
3 STAND DER WISSENSCHAFT UND TECHNIK
3.1 LASERBASIERTE PROZESSKETTE ZUR OPTIKFERTIGUNG
3.1.1 LASERGROBABTRAG ZUR FORMHERSTELLUNG
3.1.2 LASERPOLIEREN
3.1.3 FEINSTABTRAG ZUR FORMKORREKTUR 10
3.2 KONVENTIONELLE KORREKTURPOLITUR-VERFAHREN 12
3.3 FUER DIE LASERBASIERTE FORMKORREKTUR RELEVANTE
EIGENSCHAFTEN VON GLAS 15
4 ZIELSETZUNG UND ABLAUF DER ARBEIT 18
5 ANLAGEN-, MESSTECHNIK UND PROBENMATERIAL 21
5.1 VERWENDETE LASERSTRAHLQUELLE 21
5.2 VERSUCHSAUFBAU 23
5.3 AUSWERTEMETHODIK 26
5.3.1 VERWENDETE MESSGERAETE 26
5.3.2 ERMITTLUNG DER ABTRAGTIEFE 26
5.3.3 ERMITTLUNG DER RAUHEIT 28
5.4 GLASWERKSTOFFE UND PROBENMATERIAL 29
6 GRUNDLAGEN ZUM FEINSTABTRAG VON OPTISCHEN
GLAESERN 32
6.1 VERFAHRENSPRINZIP 32
6.2 EINZELPULSABTRAG 33
6.2.1 PULSFORM 33
6.2.2 EFFEKTIVER STRAHLDURCHMESSER 37
6.3 VARIATION DER VERFAHRENSPARAMETER 39
6.3.1 PULSDAUER 40
6.3.2 LASERINTENSITAET (PULSSPITZENLEISTUNG) 46
6.3.3 LASERINTENSITAET (LASERSTRAHLDURCHMESSER) 51
6.3.4 REPETITIONSRATE 54
6.3.5 SCANVEKTORLAENGE 56
6.3.6 PULS- UND SPURABSTAND 57
6.3.7 ANZAHL DER LAGEN 60
6.3.8 EINFALLSWINKEL 62
6.4 REPRODUZIERBARKEIT 65
6.4.1 EINFLUSS DER LEISTUNGSSCHWANKUNGEN 67
6.4.2 EINFLUSS DER POSITION IM SCANFELD 71
6.5 EINFLUSS TEMPERZYKLUS AUF DIE ABTRAGTIEFE 72
6.6 EINFLUSS DER THERMISCHEN VORGESCHICHTE AUF DEN
FEINSTABTRAG 74
7 ANWENDUNG DES FEINSTABTRAGS AUF OPTISCHE
GLAESER 76
7.1 QUARZGLAS 76
7.2 ULTRA-LOW EXPANSION GLAS (ULE) 78
7.3 ZERODUR 79
7.4 BK7 81
8 ENTWICKLUNG EINER PROZESSKETTE ZUR
LASERBASIERTEN FORMKORREKTUR 85
8.1 ORTSSELEKTIVER FEINSTABTRAG 85
8.2 SOFTWARE 87
8.3 KENNLINIE 88
8.4 LASERBASIERTE FORMKORREKTUR AUF LASERPOLIERTEN
OBERFLAECHEN 89
8.4.1 ERPROBUNG DER LASERBASIERTEN FORMKORREKTUR (N = 1) 89
8.4.2 ITERATION DER LASERBASIERTEN FORMKORREKTUR 95
8.5 VORHEIZEFFEKTE 98
8.5.1 ABTRAG VON RECHTECKSTRUKTUREN 99
8.5.2 ABTRAG VON SINUSSTRUKTUREN 101
8.5.3 SIMULATION DES VORHEIZEFFEKTES 104
8.5.4 AUSWIRKUNGEN DES VORHEIZEFFEKTES AUF DIE
LASERBASIERTE FORMKORREKTUR 106
8.6 LASERBASIERTE FORMKORREKTUR AUF GEKRUEMMTEN
OBERFLAECHEN 108
9 EINFLUSS DER LASERBASIERTEN FORMKORREKTUR AUF
OPTISCHE UND MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN 110
9.1 BRECHUNGSINDEX 110
9.2 EIGENSPANNUNGEN 111
9.3 HAERTE 112
10 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 114
11 FORMELZEICHEN 118
12 ANHANG 121
13 LITERATURVERZEICHNIS 125
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