Polygonscannerbasierte Hochleistungs-Ultrakurzplus-Laserstrukturierung: = Polygon scanner based structuring with high power ultrashot pulsed laser systems
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| Veröffentlicht: |
Aachen
Apprimus Verlag
2018
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| Schriftenreihe: | Ergebnisse aus der Lasertechnik
Edition Wissenschaft - Apprimus |
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
TABELLENVERZEICHNIS III
ABBILDUNGSVERZEICHNIS IV
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS VIII
FORMELZEICHENVERZEICHNIS IX
1 EINLEITUNG 1
2 ZIELSETZUNG UND HERANGEHENSWEISE 3
3 PROZESSGRUNDLAGE UND STAND DER TECHNIK 13
3.1 PRINZIPIEN DER SCANBEWEGUNG 18
4 AUFBAU DES POLYGONSCANNERSYSTEMS 21
4.1 SYSTEMUEBERSICHT 21
4.2 AUSLEGUNG DES POLYGONSCANNERS 25
4.3 PROZESSDATEN FUER DIE SCHICHTWEISE
TIEFENSTRUKTURIERUNG 29
4.4 STEUERUNG 31
4.4.1 PROGRAMMABLAUF 34
4.5 KENNWERTE UND ERSTE PROZESSERGEBNISSE MIT DEM
POLYGONSCANNERSYSTEM 37
5 GEOMETRIEABWEICHUNGEN BEI DER
POLYGONSCANNERBASIERTEN LASERSTRUKTURIERUNG 43
5.1 QUANTISIERUNGSABWEICHUNGEN DER
PROZESSDATENKONVERTIERUNG 43
5.2 SYSTEMBEDINGTE ABWEICHUNGEN 45
5.2.1 ABWEICHUNGSURSACHEN KONSTANTER GROESSE 46
5.2.1.1 OPTISCHE VERZEICHNUNG 46
5.2.2 ABWEICHUNGSURSACHEN MIT STATISTISCHER VERTEILUNG 49
5.2.2.1 EINTRITT DER ACHSE IN DAS BEARBEITUNGSFELD 49
5.2.2.2 DYNAMISCHER SPURFEHLER DES POLYGONS 50
5.2.2.3 GENAUIGKEIT DES ENCODERS DES POLYGONMOTORS 52
5.2.2.4 SYNCHRONITAET DER LASERPULSE ZUM LINIENANFANG 54
5.2.2.5 GESCHWINDIGKEITSABWEICHUNG VON POLYGONSCANNER
UND ACHSSYSTEM 56
5.2.2.6 WEITERE POTENTIELLE ABWEICHUNGSURSACHEN 58
5.3 PROZESSBEDINGTE ABWEICHUNGEN 61
5.3.1 ENERGIEVERTEILUNG IM FOKUS 61
5.3.2 WIEDERANHAFTUNG 62
5.3.3 MAXIMALER FLANKENWINKEL 65
5.3.4 GRABENBILDUNG UNTERHALB VON FLANKEN 68
6 SYSTEMKONZEPTE ZUR REDUKTION VON
GEOMETRIEABWEICHUNGEN 71
6.1 PASSIVE REDUKTION DER POSITIONIERABWEICHUNGEN 73
6.2 AKTIVE KOMPENSATION DER POSITIONSABWEICHUNGEN 75
6.3 REINIGUNG DER WERKSTUECKOBERFLAECHE 80
7 KONZEPTE ZUR STATISTISCHEN
ABWEICHUNGSKOMPENSATION UND ERHOEHUNG DER
ABTRAGSGENAUIGKEIT 87
7.1 BERECHNUNG DER PUNKTSPREIZFUNKTION 88
7.2 VALIDIERUNG DER THEORETISCHEN PUNKTSPREIZFUNKTION 93
7.3 PRINZIP DER ENTFALTUNG 98
7.4 BERECHNUNG DES VORKOMPENSIERTEN
BEARBEITUNGSBILDES 101
8 VERGLEICH DER PROZESSERGEBNISSE MIT UND OHNE
ABWEICHUNGSVORKOMPENSATION 105
9 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 111
ANHANG 119
A I BERECHNUNG DER ABTRAGSEFFIZIENZ 119
A.2 OPTISCHE SIMULATIONEN DES
POLYGONSCANNERSYSTEMS 122
A 3 KONSTRUKTIONSUEBERSICHT DES POLYGONSCANNERS 124
A 4 PROGRAMMIERUNG DER STEUERUNG 125
A.5 WEITERE DARSTELLUNGEN DES VERGLEICHS DER
PROZESSERGEBNISSE MIT UND OHNE
ABWEICHUNGSVORKOMPENSATION 129
A.6 DATENBLAETTER DER KOMPONENTEN 132
L ITERATURVERZEICHNIS 139
LEBENSLAUF
143
|
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