Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess:
Photonik
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Wildau
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Summary: | Photonik |
| Physical Description: | xii, 71 Blätter Illustrationen 1 CD-ROM |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV045057643 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20230925 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 180626s2017 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)1401180741 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV045057643 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rda | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-526 | ||
| 100 | 1 | |a Schlößer, Alexander |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess |
| 264 | 1 | |a Wildau |c 2017 | |
| 300 | |a xii, 71 Blätter |b Illustrationen |e 1 CD-ROM | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |b Masterarbeit |c Technische Hochschule |g A2018/0300 | ||
| 520 | |a Photonik | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Gasaustausch |0 (DE-588)4136101-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Gasaustausch |0 (DE-588)4136101-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Heinrich, Friedhelm |4 dgs | |
| 856 | 4 | |q application/pdf |u http://wilbert.kobv.de/tocs/236128.pdf |3 Inhaltsverzeichnis | |
| 940 | 1 | |q BTW-Scan | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-030449249 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804178654667735040 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Schlößer, Alexander |
| author_facet | Schlößer, Alexander |
| author_role | aut |
| author_sort | Schlößer, Alexander |
| author_variant | a s as |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV045057643 |
| ctrlnum | (OCoLC)1401180741 (DE-599)BVBBV045057643 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01125nam a2200349 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV045057643</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20230925 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">180626s2017 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)1401180741</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV045057643</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-526</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schlößer, Alexander</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Wildau</subfield><subfield code="c">2017</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">xii, 71 Blätter</subfield><subfield code="b">Illustrationen</subfield><subfield code="e">1 CD-ROM</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Masterarbeit</subfield><subfield code="c">Technische Hochschule</subfield><subfield code="g">A2018/0300</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Photonik</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gasaustausch</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136101-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Gasaustausch</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136101-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Heinrich, Friedhelm</subfield><subfield code="4">dgs</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://wilbert.kobv.de/tocs/236128.pdf</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">BTW-Scan</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-030449249</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV045057643 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T08:07:25Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-030449249 |
| oclc_num | 1401180741 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-526 |
| owner_facet | DE-526 |
| physical | xii, 71 Blätter Illustrationen 1 CD-ROM |
| psigel | BTW-Scan |
| publishDate | 2017 |
| publishDateSearch | 2017 |
| publishDateSort | 2017 |
| record_format | marc |
| spelling | Schlößer, Alexander Verfasser aut Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess Wildau 2017 xii, 71 Blätter Illustrationen 1 CD-ROM txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Masterarbeit Technische Hochschule A2018/0300 Photonik Gasaustausch (DE-588)4136101-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Gasaustausch (DE-588)4136101-5 s DE-604 Heinrich, Friedhelm dgs application/pdf http://wilbert.kobv.de/tocs/236128.pdf Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schlößer, Alexander Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess Gasaustausch (DE-588)4136101-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136101-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess |
| title_auth | Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess |
| title_exact_search | Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess |
| title_full | Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess |
| title_fullStr | Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess |
| title_full_unstemmed | Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess |
| title_short | Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess |
| title_sort | optimierung des tiefen siliziumatzens im gaswechselprozess |
| topic | Gasaustausch (DE-588)4136101-5 gnd |
| topic_facet | Gasaustausch Hochschulschrift |
| url | http://wilbert.kobv.de/tocs/236128.pdf |
| work_keys_str_mv | AT schloßeralexander optimierungdestiefensiliziumatzensimgaswechselprozess AT heinrichfriedhelm optimierungdestiefensiliziumatzensimgaswechselprozess |