Schlößer, A. (2017). Optimierung des tiefen Siliziumätzens im Gaswechselprozess.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Schlößer, Alexander. Optimierung Des Tiefen Siliziumätzens Im Gaswechselprozess. Wildau, 2017.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Schlößer, Alexander. Optimierung Des Tiefen Siliziumätzens Im Gaswechselprozess. 2017.
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