Bakshi, V. (2018). EUV lithography (Second edition.). SPIE Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography. Second edition. Bellingham, Washington, USA: SPIE Press, 2018.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography. Second edition. SPIE Press, 2018.
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