Piezoelektrische Mikromembranaktoren mit einseitiger elektrischer Ansteuerung:
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
München
Verlag Dr. Hut
2017
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| Edition: | 1. Auflage |
| Series: | Mikrosystemtechnik
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| Physical Description: | xiv, 158 Seiten Illustrationen, Diagramme |
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