Rinke, T. J., & Koch, C. (2017). Fotolithografie: Grundlagen der Mikrostrukturierung (1. Auflage.). MicroChemicals.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Rinke, Titus J., und Christian Koch. Fotolithografie: Grundlagen Der Mikrostrukturierung. 1. Auflage. Ulm: MicroChemicals, 2017.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Rinke, Titus J., und Christian Koch. Fotolithografie: Grundlagen Der Mikrostrukturierung. 1. Auflage. MicroChemicals, 2017.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.