Choudhary, V., & Iniewski, K. MEMS: Fundamental technology and applications.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Choudhary, Vikas, und Krzysztof Iniewski. MEMS: Fundamental Technology and Applications.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Choudhary, Vikas, und Krzysztof Iniewski. MEMS: Fundamental Technology and Applications.
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