Babu, S. V. (2016). Advances in chemical mechanical planarization (CMP). Woodhead Publishing.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Babu, S. V. Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP). Waltham, MA: Woodhead Publishing, 2016.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Babu, S. V. Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP). Woodhead Publishing, 2016.
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