Holdings: Mehrstrahlinterferenz zur direkten, großflächigen Nanostrukturierung durch Laserablation

Mehrstrahlinterferenz zur direkten, großflächigen Nanostrukturierung durch Laserablation:

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Bibliographic Details
Main Author:	Steger, Michael (Author)
Format:	Thesis Book
Language:	German
Published:	Aachen Apprimus Verlag 2017
Edition:	1. Auflage
Series:	Edition Wissenschaft - Apprimus Ergebnisse aus der Lasertechnik
Subjects:	Ultrakurzzeitlaser Funktionalisierung > Chemie Technische Oberfläche Laserablation Vielstrahlinterferenz Strukturierung Hochschulschrift
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Physical Description:	ii, 145 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm
ISBN:	9783863595159
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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS 1. EINLEITUNG UND ZIELSETZUNG 1 1.1. E INLEITUNG......................................................................................... 1 1.2. ZIELSETZUNG ...................................................................................... 3 2. STAND DER TECHNIK 7 2.1. E INLEITUNG......................................................................................... 7 2.2. MODERNE L ITH O G RAP H IE.................................................................... 8 2.2.1. PARTIKELBASIERTE LITHOGRAPHIE ........................................... 9 2.2.2. MASKENBASIERTE LITHOGRAPHIE .............................................. 11 2.2.3. NANOIMPRINT-LITHOGRAPHIE ................................................. 12 2.2.4. INTERFERENZLITHOGRAPHIE ....................................................... 13 2.3. LASERABLATION MIT GEPULSTEN L A S E R N .............................................. 14 2.4. LASERABLATION MIT MEHRSTRAHLINTERFERENZ ..................................... 21 3. THEORETISCHE GRUNDLAGEN 25 3.1. THEORETISCHE GRUNDLAGEN DER IN TERFEREN Z..................................... 25 4. THEORETISCHE ANALYSE DER MEHRSTRAHLINTERFERENZ 33 4.1. MEHRSTRAHLINTERFERENZ ZUR DIREKTEN OBERFLAECHENSTRUKTURIERUNG . . 33 4.1.1. KRITERIEN FUER DEN DIREKTEN A B TR A G ..................................... 35 4.1.1.1. EINFLUSS DER PHASE DER T EILSTRAHLEN .................. 35 4.1.1.2. EINFLUSS DES INTERFERENZKONTRASTES ..................... 38 4.1.2. ZUSAMMENFASSUNG................................................................. 43 4.2. STRAHLKONFIGURATIONEN FUER DIE IN TERFEREN Z..................................... 43 4.2.1. 2-STRAHLINTERFERENZ ............................................................. 43 4.2.2. SYMMETRISCHE, KEGELFOERMIGE 3-STRAHLINTERFERENZ ............... 47 4.2.3. SYMMETRISCHE, KEGELFOERMIGE 4-STRAHLINTERFERENZ ............... 51 4.2.4. SYMMETRISCHE, KEGELFOERMIGE N-STRAHLINTERFERENZ ............... 57 4.2.5. ASYMMETRISCHE N-STRAHLINTERFERENZ .................................. 57 INHALTSVERZEICHNIS 4.2.6. ZUSAMMENFASSUNG UND VERGLEICH........................................ 57 5. EXPERIMENTELLE UMSETZUNG DER MEHRSTRAHLINTERFERENZ 61 5.1. KOHAERENZLAENGE VON L A S E RN .............................................................. 61 5.1.1. ZEITLICHE K O H AE RE N Z .............................................................. 62 5.1.2. RAEUMLICHE K O H AEREN Z........................................................... 64 5.2. ANALYSE DER EINFLUSSGROESSEN.............................................................. 64 5.3. MESSBARKEIT DES INTERFERENZKONTRASTS ........................................... 71 5.3.1. MESSUNG DES STRAHLPROFILS ................................................. 71 5.3.2. ENTWICKLUNG EINES INDIREKTEN FOOTPRINT-ANSATZES ............ 72 6. VERSUCHSAUFBAUTEN UND MESSTECHNIK 79 6.1. V ERSUCHSAUFBAU................................................................................ 79 6.2. M ESSTECHNIK ...................................................................................... 82 6.3. M A TE RIA LIE N ...................................................................................... 82 7. VERSUCHSERGEBNISSE 85 7.1. MESSUNG DES INTERFERENZKONTRASTS ................................................. 85 7.2. STRUKTURIERUNG MIT N S-L A SE R........................................................... 99 7.2.1. POLYIM ID................................................................................ 99 7.3. STRUKTURIERUNG MIT P S-L A SE R........................................................... 109 7.3.1. POLYIM ID................................................................................ 109 7.3.2. EDELSTAHL ............................................................................. 111 7.3.3. (CRI_XAZX)0 A-HARTSCHICHT .............................................. 113 7.4. STRUKTURIERUNG VON 3D-OBERFLAECHEN .............................................. 117 8. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 123 8.1. ZUSAMMENFASSUNG............................................................................. 123 8.2. A USBLICK............................................................................................. 127 LITERATURVERZEICHNIS 130 A. ANHANG 141 A.L. A BKUERZUNGEN ................................................................................... 141 A.2. FORMELZEICHEN ................................................................................... 142
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