Ab-initio-Berechnung elektrischer Eigenschaften von Dielektrika für neuartige Gate-Isolator-Schichtsyteme zukünftiger MOSFETs:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
[Auerbach /Vogtl.]
Verl. Wiss. Scripten
2010
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| Schriftenreihe: | Forschung für die Praxis
1 |
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 5 2 THEORETISCHE GRUNDLAGEN DER
BENUTZTEN METHODEN 9 2.1 DIE SCHROEDINGERGLEICHUNG 9 2.2
DICHTEFUNKTIONALTHEORIE 11 2.3 NAEHERUNG MITTELS LDA 14 2.4
PSEUDOPOTENTIAL-METHODE 15 2.5 EBENE WELLEN ALS BASISSATZ 17 2.6
BERECHNUNG DER TOTALEN UND LOKALEN ZUSTANDSDICHTEN 18 2.7
STRUKTUROPTIMIERUNG / MOLEKULARDYNAMIK 19 2.8 VIELTEILCHENEHEKTE AUF
BASIS DER GW-METHODE 20 2.9 STOERUNGSRECHNUNG / DIELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN 21 2.10 FPLO 22 2.11 BERECHNUNG DES BANDVERSCHIEBUNG 24 3
SILIZIUMOXINITRID ALS REFERENZSYSTEM FUER DIE ANWENDUNG VON AB INITIO
METHODEN 27 3.1 STRUKTURELLE UND ELEKTRONISCHE EIGENSCHAFTEN DER
VOLUMEN-PHASEN VON SILI- ZIUMOXINITRID 27 3.1.1 STRUKTURUNTERSUCHUNG DER
KRISTALLINEN PHASEN IM SIO X N V SYSTEM . . 28 3.1.2 MODELLIERUNG
AMORPHER PHASEN IM SIO X N V SYSTEM MIT GERINGEM STICKSTOFFGEHALT 32
3.1.3 EINFLUSS DER STICKSTOFFKONZENTRATION AUF DIE ELEKTRONISCHEN EIGEN-
SCHAFTEN VON SIO X NY 36 3.1.4 ZUSAMMENFASSUNG UND BEWERTUNG DER
VERWENDETEN AB INITIO METHO- DEN HINSICHTLICH IHRER VORHERSAGEKRAFT FUER
HIGH-A; MATERIALEN .... 41 3. BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/1000285391 DIGITALISIERT DURCH 4.3.2
GRENZFLAECHENEIGENSCHAFTEN 66 4.4 GADOLINIUMOXID ALS HIGH-FC MATERIAL DER
ZWEITEN GENERATION 70 4.4.1 STRUKTURELLE EIGENSCHAFTEN DER VOLUMENPHASE
70 4.4.2 ZUSTANDSDICHTE UND BANDLUECKE DER VOLUMENPHASE 71 4.5 VERGLEICH
DER BERECHNETEN HIGH-FC MATERIALIEN 74 5 ZUSAMMENFASSUNG 77 A DIE
VERWENDETEN PROGRAMMSYSTEME 79 A.I ABINIT 79 A.2 CPMD 79 A.3 FPLO 80 B
UEBERSICHT DER IM RAHMEN DER DFT-BERECHNUNGEN VERWENDETEN PARAME- TER UND
METHODEN 81 B.L STRUKTUROPTIMIERUNGEN 81 B.2 ELEKTRONISCHE EIGENSCHAFTEN
81 B.3 DIELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN 82 ABKUERZUNGEN, NOTATION UND
KONSTANTEN 84 TABELLENVERZEICHNISS 85 ABBILDUNGSVERZEICHNISS 88
LITERATURVERZEICHNISS 99 SELBSTSTAENDIGKEITSERKLAERUNG 101 DANKSAGUNG 103
TABELLARISCHER LEBENSLAUF 105
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