Ferroelektrische Nanopartikel für elektronische Bauelemente:
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Dresden
TUDpress
2013
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| Schriftenreihe: | Dresdner Beiträge zur Sensorik
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INHALTSVERZEICHNIS
SYMBOLVERZEICHNIS XVII
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS XXI
1. EINLEITUNG 1
2. FERROELEKTRIKA 5
2.1. GRUNDLAGEN 5
2.1.1. GESCHICHTE 6
2.1.2. POLARISATION 7
2.1.3. FERROELEKTRISCHE DOMAENEN 10
2.2. PIEZOELEKTRIZITAET 13
2.3. PYROELEKTRIZITAET 15
2.4. FERROELEKTRISCHE MATERIALIEN 16
2.4.1. BLEI-ZIRKONAT-TITANAT (PZT) 18
2.4.2. LITHIUMNIOBAT (LNO) 20
2.5. ANWENDUNGEN 21
2.5.1. DIELEKTRIKA FUER ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE 22
2.5.2. PIEZOELEKTRISCHE AKTOREN 23
2.5.3. PYROELEKTRISCHE SENSOREN 23
2.5.4. FERAM 23
2.5.5. ANWENDUNGEN VON FERROELEKTRISCHEN NANOPARTIKELN 23
2.6. CHARAKTERISIERUNG 24
2.6.1. MESSUNG DER FERROELEKTRISCHEN HYSTERESE 25
2.6.2. RASTERKRAFT-MIKROSKOPIE 25
2.7. GROESSENEFFEKTE 28
2.7.1. PARTIKELGROESSENEFFEKTE 30
2.7.2. KORNGROESSENEFFEKTE 30
2.7.3. EFFEKTE IN NANOPUNKTEN 32
XIII
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3. HERSTELLUNG FERROELEKTRISCHER IMANOSTRUKTUREN 35
3.1. TOP-DOWN-VERFAHREN 35
3.1.1. LITHOGRAFIEVERFAHREN 36
3.1.2. DIREKTE SCHREIBVERFAHREN 38
3.1.3. LASERABLATION 38
3.1.4. IMPRINT 38
3.2. BOTTOM-UP-VERFAHREN 39
3.2.1. TEMPLATEVERFAHREN 39
3.2.2. SPEZIELLE SOL-GEL-VERFAHREN 39
3.2.3. EPITAKTISCHES WACHSTUM 40
3.2.4. SELBSTANORDNUNG 41
3.3. HYBRIDVERFAHREN 42
3.3.1. RASTERSONDEN-METHODEN 42
3.3.2. NANOKUGELLITHOGRAFIE 42
4. MATERIALIEN UND METHODEN 51
4.1. MULTI-TARGET-SPUTTERN VON BLEI-ZIRKONAT-TITANAT 52
4.2. CHARAKTERISIERUNG DER PZT-SCHICHTEN 53
4.2.1. ROENTGENFOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE (XPS) 53
4.2.2. ROENTGENBEUGUNG (XRD) 54
4.2.3. RUECKSTREUELEKTRONENBEUGUNG (EBSD) 55
4.2.4. OBERFLAECHENTOPOGRAFIE UND QUERSCHNITT 56
4.3. NANOSTRUKTURIERUNG 57
4.3.1. NANOKUGELLITHOGRAFIE 57
4.3.2. STRUKTURUEBERTRAGUNG 61
4.3.3. AUFFUELLEN UND KONTAKTIEREN 62
4.4. PIEZOKRAFT-MIKROSKOPIE 64
4.4.1. MESSAUFBAU UND FUNKTIONSPRINZIP 64
4.4.2. SPITZE-PROBE-WECHSELWIRKUNGEN 66
4.4.3. ORTSAUFLOESUNG 71
4.4.4. KONTRASTMECHANISMUS 72
4.4.5. MESSUNGEN 74
5. ERGEBNISSE UND DISKUSSION 77
5.1. TECHNOLOGIE 77
5.1.1. DISPERSIONEN VON POLYMERKUGELN 78
5.1.2. HERSTELLUNG UND MODIFIKATION GESCHLOSSENER MASKEN AUS NANOKUGELN
. . 79
5.1.3. STRUKTURTRANSFER 82
5.1.4. AUFFUELLEN DER ZWISCHENRAEUME 83
5.1.5. ZUSAMMENFASSUNG 86
5.2. KALIBRIERUNG PIEZOKRAFT-MIKROSKOPIE 86
5.3. EINFLUSS DER STRUKTURIERUNG AUF DIE DOMAENENSTRUKTUR 88
5.3.1. EINFLUSS DER STRUKTURHOEHEN 89
5.3.2. EINFLUSS DER STRUKTURDURCHMESSER 91
5.3.3. VORTEXDOMAENEN 91
5.4. ANSTIEG DER AMPLITUDE DER PIEZOELEKTRISCHEN ANTWORT 92
5.4.1. EINFLUSS DER STRUKTURHOEHEN 93
5.4.2. EINFLUSS DES STRUKTURDURCHMESSERS 94
5.5. HYSTERESEMESSUNGEN 94
5.6. KONTAKTIERTE NANOPUNKTARRAYS 97
5.7. ZUSAMMENFASSUNG 99
6. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 101
6.1. ZUSAMMENFASSUNG 101
6.2. AUSBLICK 103
ANHANG 105
LITERATUR 113 |
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