Okoroanyanwu, U. (2015). Molecular theory of lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2179925
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Okoroanyanwu, Uzodinma. Molecular Theory of Lithography. Bellingham, Washington: SPIE, 2015. https://doi.org/10.1117/3.2179925.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Okoroanyanwu, Uzodinma. Molecular Theory of Lithography. SPIE, 2015. https://doi.org/10.1117/3.2179925.
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