Entwicklung technologisch fundierter Richtlinien zur ressourcenschonenden Produktion der nächsten Generation von Glasoptiken: Ergebnisbericht des BMBF-Verbundprojektes ERANET-MNT-Guide4Diffractive
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Aachen
Apprimus Verlag
2016
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Ausgabe: | 1. Auflage |
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Beschreibung: | 163 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm, 250 g |
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Datensatz im Suchindex
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adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
1
VORWORT.............................................................................................................
- 7
2
EINLEITUNG.........................................................................................................
-9
3 OPTISCHES
DESIGN..........................................................................................
-13
3.1 BINAERE
OPTIKEN.......................................................................................
-13
3.2 GEBLAZTE
OPTIKEN...................................................................................-20
3.2.1 GEBLAZTE OPTISCHE
ELEMENTE........................................................-21
3.2.2 DESIGN EINER PLANAREN DIFFRAKTIVEN LINSE
.....................................
- 25
3.2.3 DESIGN EINES HYBRIDEN
ACHROMAT.................................................- 30
3.2.4 THEORETISCHE ABBILDUNGSLEISTUNG DES HYBRIDEN ACHROMATEN
......
- 34
3.2.5
ZUSAMMENFASSUNG.......................................................................-36
4 MATERIALIEN FUER
GLASPRESSWERKZEUGE...........................................................-
37
5 SCHLEIFTECHNISCHE FERTIGUNG VON GEBLAZTEN PRESSWERKZEUGEN
...............
-41
5.1
EINLEITUNG...............................................................................................-41
5.2 SCHLEIFSCHEIBENFERTIGUNG
.......................................................................
- 41
5.2.1
UEBERBLICK......................................................................................
-41
5.2.2
TEILPROJEKTZIELSTELLUNG...................................................................-
42
5.2.3 UNTERSUCHUNGEN DER VERWENDETEN SCHLEIFSCHEIBEN
....................
- 43
5.2.4
VERSUCHSABLAUF............................................................................-
44
5.2.5
ERGEBNISSE...................................................................................-44
5.2.6
ZUSAMMENFASSUNG.......................................................................-
45
5.3 PRESSWERKZEUGFERTIGUNG MITTELS
UP-SCHLEIFEN......................................- 45
5.3.1
WERKZEUGDESIGN..........................................................................
- 45
5.3.2 VORBEREITUNG DER SCHLEIFSCHEIBEN - SCHARFKANTIGES PROFILIEREN... -
48
5.3.3
SCHLEIFSTRATEGIE.............................................................................-50
5.3.4
ERGEBNISSE...................................................................................
-51
5.3.5
ZUSAMMENFASSUNG.......................................................................-57
6 DREHTECHNISCHE FERTIGUNG VON GEBLAZTEN PRESSWERKZEUGEN
..................
- 59
6.1
DIAMANTWERKZEUGFERTIGUNG...................................................................
-59
6.1.1 BENCHMARK
DIAMANTROHMATERIAL...................................................-
60
6.1.2 WERKZEUGAUFBAU UND HERSTELLUNGSSTRATEGIEN
..............................
- 64
6.1.3
ERGEBNISSE...................................................................................
-68
6.2 PRESSWERKZEUGFERTIGUNG MITTELS
DIAMANTDREHEN...................................- 69
6.2.1 EINFUEHRUNG IN DIE
ULTRAPRAEZISIONSZERSPANUNG.............................- 69
6.2.2 FERTIGUNG VON GEBLAZTEN
STRUKTUREN...........................................- 72
6.2.3 STRATEGIE ZUR EINRICHTUNG DER
WERKZEUGE...................................- 73
- 4 -_________________________________________________________ 1 VORWORT
6.2.4 FERTIGUNG DES FORMWERKZEUGS IM GUIDE4DIFFRACTIVE-PROJEKT
......
- 74 -
6.2.5
ZUSAMMENFASSUNG......................................................................-
77 -
7 MESSTECHNISCHE QUALIFIZIERUNG VON GEBLAZTEN PRESSWERK-ZEUGEN
.........
- 79 -
7.1 TAKTILE OBERFLAECHENMESSUNG MIT DER
UA3P............................................- 80 -
7.2 ERGEBNISSE DER TAKTILEN
MESSTECHNIK......................................................- 83 -
7.3
ZUSAMMENFASSUNG.................................................................................
- 87 -
8 PRAEZISIONSBLANKPRESSEN VON GEBLAZTEN
OPTIKEN.......................................- 89 -
8.1
PRAEZISIONSBLANKPRESSEN..........................................................................-
89 -
8.1.1
STABPRESSVERFAHREN......................................................................-
89 -
6.1.2 PRESSVERSUCHE MIT DEM STABPRESSEN UND ERGEBNISSE
................
- 89 -
8.1.3 PRESSVERSUCHE MIT ISOTHERMEM
VERFAHREN...................................- 90 -
8.1.4 GESCHLIFFENES GEBLAZT DIFFRAKTIVES WERKZEUG FUER ABFORMVERSUCHE- 91
-
8.1.5
ABFORMUNG................................................................................
-9 2 -
8.1.6
ZUSAMMENFASSUNG.......................................................................
- 96 -
9 MESSTECHNISCHE QUALIFIZIERUNG VON GEBLAZTEN
OPTIKEN............................-97 -
9.1 INTERFEROMETRISCHE AUSWERTUNG IN TRANSMISSION
...................................
- 97 -
9.2 TAKTILE MESSUNG DER
LINSENOBERFLAECHE................................................-101 -
9.3
ZUSAMMENFASSUNG..............................................................................
-105 -
10 LITHOGRAPHISCHE FERTIGUNG VON PRESSWERKZEUGEN
................................
-107 -
10.1
ZIELSETZUNG..........................................................................................
-107 -
10.2 REINRAUMTECHNOLOGIE ZUR STRUKTURIERUNG VON QUARZGLAS
....................
-108 -
10.3 VERGLEICH VON VERSCHIEDENEN STEMPELMATERIALIEN
..............................
-111 -
10.4 MIKROSTRUKTURIERUNG VON
GLASKOHLENSTOFF..............................................-112 -
10.4.1 PHOTOLITHOGRAPHIE IN KOMBINATION MIT EINER TITAN HARDMASKE...
-112 -
10.4.2 PHOTOLITHOGRAPHIE IN KOMBINATION MIT EINER SILIZIUM HARDMASKE-115
-
10.4.3 ELEKTRON-STRAHLLITHOGRAPHIE FUER ULTRAHOCHAUFGELOESTE STRUKTUREN .
-1 2 0 -
10.4.4 ZUSAMMENFASSUNG
................................................................
-121 -
10.5
ZUSAMMENFASSUNG...........................................................................
-121 -
11 PRAEZISIONSBLANKPRESSEN VON BINAEREN
OPTIKEN........................................-123 -
11.1
EINLEITUNG.............................................................................................-1
2 3 -
11.2 DIE TECHNOLOGIE DES PRAEZISIONSBLANKPRESSENS
...................................
-123 -
11.3 AUFBAU DER PRAEZISIONSBLANKPRESSMASCHINE
........................................
-124 -
11.4 PROZESSPARAMETER UND ABLAUF
............................................................
-126 -
11.5
GLAESER..................................................................................................-127
-
11.6
WERKZEUGE...........................................................................................-128
-
11.7 ERGEBNISSE DER PRESSVERSUCHE
...........................................................
-131 -
1 VORWORT - 5 -
11.7.1 EINFLUSS DER PROZESSPARAMETER AUF DIE ABFORMQUALITAET
.............
-1 3 1 -
11.7.2 QUALITAET DER ABFORMUNG VON UNTERSCHIEDLICH GROSSEN STRUKTUREN -134
-
11.7.3 BINAERE
MULTINIVEAUSTRUKTUREN.....................................................-135
-
11.7.4 PRAEZISIONSBLANKPRESSEN VON QUARZGLAS
...................................
-136 -
11.7.5 ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHISCH GEFERTIGTEN PRESSWERKZEUGE
....
-136 -
11.6
ZUSAMMENFASSUNG..............................................................................-137
-
12 OPTISCHE QUALIFIZIERUNG VON BINAEREN OPTIKEN
........................................
-139 -
12.1 MESSAUFBAUTEN UND VORGEHENSWEISE BEI DEN MESSUNGEN
.................
-139 -
12.1.1 DOE-MESSPLATZ MIT ZWEI XY-VERFAHRTISCHEN
............................
-139 -
12.1.2 DOE-MESSPLATZ MIT DREHTISCH
..................................................
-140 -
12.2 ERGEBNISSE DER OPTISCHEN CHARAKTERISIERUNG AUSGEWAEHLTER ELEMENTE.
-141 -
12.2.1 2-STUFIGE 2D-STRAHLTEILER, VERSCHIEDENE VARIANTEN 1-11X11
STRAHLTEILER..................................................................................
-141 -
12.2.2 2-STUFIGE 2D STRAHLTEILER, 1-6X6 ARRAYGENERATOR
.....................
-145 -
12.2.3 2-STUFIGE 1D STRAHLTEILER, 1*11 ARRAYGENERATOR
.......................
-148 -
12.2.4 8-STUFIGE 2D-PATTERNGENERATOREN ZUR ERZEUGUNG VON LOGOS
....
-150 -
12.2.58-STUFIGE ID STRAHLTEILER, 1 -4 ARRAYGENERATOR
.........................
-151 -
12.2.6 8-STUFIGE 2D-STRAHLTEILER, 1- 6X6 ASYMMETRISCHER ARRAY
GENERATOR....................................................................................
-1 5 3 -
12.2.7 2-STUFIGE 1D STRAHLTEILER, 1-31 ARRAYGENERATOR
........................
-155 -
12.2.8 2-STUFIGE 2D STRAHLTEILER, 1-31X31 ARRAYGENERATOR
....................
-156 -
13
FAZIT...............................................................................................................-1
5 9 -
14 LITERATURVERZEICHNIS -161 -
|
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author2 | Dambon, Olaf 1974- Doetz, Marius Dukwen, Julia |
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