Lin, B. J. (2010). Optical lithography: Here is why. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.821000
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Lin, Burn Jeng. Optical Lithography: Here Is Why. Bellingham, Wash: SPIE, 2010. https://doi.org/10.1117/3.821000.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Lin, Burn Jeng. Optical Lithography: Here Is Why. SPIE, 2010. https://doi.org/10.1117/3.821000.
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