Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Kaiserslautern
Technische Universität
2016
|
| Series: | Produktionstechnische Berichte aus dem FBK
2016,3 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Als Manuskript gedruckt ; Zusammenfassung in deutscher und englischer Sprache |
| Physical Description: | IX, 112 Seiten Illustrationen, Diagramme |
| ISBN: | 9783959740326 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV043986916 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20180817 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 170105s2016 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 9783959740326 |9 978-3-95974-032-6 | ||
| 035 | |a (OCoLC)968745691 | ||
| 035 | |a (DE-599)HBZHT019197327 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rda | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-522 |a DE-12 |a DE-83 |a DE-706 |a DE-634 |a DE-29T |a DE-858 | ||
| 084 | |a ZM 8330 |0 (DE-625)157186: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Carrella, Marina |d 1984- |e Verfasser |0 (DE-588)1122654065 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium |c Marina Carrella |
| 264 | 1 | |a Kaiserslautern |b Technische Universität |c 2016 | |
| 264 | 4 | |c © 2016 | |
| 300 | |a IX, 112 Seiten |b Illustrationen, Diagramme | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Produktionstechnische Berichte aus dem FBK |v Band 03/2016 | |
| 500 | |a Als Manuskript gedruckt ; Zusammenfassung in deutscher und englischer Sprache | ||
| 502 | |b Dissertation |c Technische Universität Kaiserslautern |d 2016 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Schleifen |0 (DE-588)4128669-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Spanende Bearbeitung |0 (DE-588)4055957-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Schleifen |0 (DE-588)4128669-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Spanende Bearbeitung |0 (DE-588)4055957-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Produktionstechnische Berichte aus dem FBK |v 2016,3 |w (DE-604)BV019848758 |9 2016,3 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=029395216&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-029395216 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804176957653385216 |
|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
ENGLISH
SUMMARY.......................................................................................................................
III
ABKUERZUNGEN................................................................................................................................
VI
FORMELZEICHEN............................................................................................................................
VII
1
EINLEITUNG.................................................................................................................................1
2 STAND DES
WISSENS...................................................................................................................3
2.1
MIKROTECHNIK....................................................................................................................3
2.2
MIKROSCHLEIFEN.................................................................................................................5
2.2.1
MIKROSCHLEIFWERKZEUGE...............................................................................................6
2.2.2
MIKROSCHLEIFPROZESS...................................................................................................
9
2.3 SCHLEIFEN SPROEDHARTER
WERKSTOFFE.................................................................................14
2.3.1
WERKSTOFFEIGENSCHAFTEN............................................................................................
14
2.3.2
WERKSTOFFVERHALTEN....................................................................................................15
2.3.3 ZERSPANUNGSMECHANISMEN BEIM SCHLEIFEN SPROEDHARTER WERKSTOFFE
......................
18
2.3.4 HYPOTHESEN ZU DEN ZERSPANUNGSMECHANISMEN BEIM SCHLEIFEN
SPROEDHARTER
WERKSTOFFE..............................................................................................................................
21
2.3.5 EINFLUSSGROESSEN BEIM SCHLEIFEN SPROEDHARTER
WERKSTOFFE.........................................25
2.4 CHARAKTERISIERUNG DER
PROZESSERGEBNISGROESSEN.............................................................31
2.5 ZUSAMMENFASSENDE
BEWERTUNG....................................................................................33
3 FORSCHUNGSBEDARF UND
ZIELSETZUNG....................................................................................35
3.1
MOTIVATION.....................................................................................................................
35
3.2
ZIELSETZUNG....................................................................................................................
35
3.3 VORGEHENSWEISE UND AUFBAU DER A
RBEIT.....................................................................36
4
VERSUCHSMETHODIK................................................................................................................38
4.1
MASCHINENSYSTEM..........................................................................................................
38
4.2
WERKZEUGE.....................................................................................................................40
4.2.1 SINTERGEBUNDENE
MIKROSCHLEIFSTIFTE..........................................................................41
4.2.2 GALVANISCH GEBUNDENE MIKROSCHLEIFSTIFTE
..............................................................
47
4.3
VERSUCHSWERKSTUECK.......................................................................................................
54
4.4
VERSUCHSMATRIX.............................................................................................................
56
4.5 MESSTECHNIK UND MESSGROESSEN
.....................................................................................
59
4.5.1
PROZESSKRAEFTE.............................................................................................................
60
4.5.2
PROZESSERGEBNISGROESSEN.............................................................................................62
5 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE UND
ANALYSE...........................................................................
68
5.1 EINFLUSS
PROZESSPARAMETER............................................................................................68
5.1.1
SCHNITTGESCHWINDIGKEIT.............................................................................................68
5.1.2 VORSCHUBGESCHWINDIGKEIT
........................................................................................
75
5.1.3 FAZIT ZUM EINFLUSS DER PROZESSPARAMETER
...............................................................
81
5.2 EINFLUSS WERKZEUGSPEZIFIKATION
.
..................................................................................82
5.2.1
KOMDURCHMESSER......................................................................................................
82
5.2.2
KOMKONZENTRATION....................................................................................................
86
5.2.3
BINDUNGSART................................................................................................................88
5.2.4
WERKZEUGDURCHMESSER..............................................................................................93
5.2.5 FAZIT ZUM EINFLUSS DER
WERKZEUGSPEZIFIKATION......................................................96
6 ZERSPANUNGSMECHANISMEN BEIM MIKROSCHLEIFEN VON EINKRISTALLINEM
SILIZIUM
........
98
7 ZUSAMMENFASSUNG UND
AUSBLICK......................................................................................100
8
QUELLENVERZEICHNIS..............................................................................................................103
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Carrella, Marina 1984- |
| author_GND | (DE-588)1122654065 |
| author_facet | Carrella, Marina 1984- |
| author_role | aut |
| author_sort | Carrella, Marina 1984- |
| author_variant | m c mc |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV043986916 |
| classification_rvk | ZM 8330 |
| ctrlnum | (OCoLC)968745691 (DE-599)HBZHT019197327 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01939nam a2200433 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV043986916</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20180817 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">170105s2016 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783959740326</subfield><subfield code="9">978-3-95974-032-6</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)968745691</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)HBZHT019197327</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-522</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-858</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 8330</subfield><subfield code="0">(DE-625)157186:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Carrella, Marina</subfield><subfield code="d">1984-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1122654065</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium</subfield><subfield code="c">Marina Carrella</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Kaiserslautern</subfield><subfield code="b">Technische Universität</subfield><subfield code="c">2016</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="4"><subfield code="c">© 2016</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IX, 112 Seiten</subfield><subfield code="b">Illustrationen, Diagramme</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Produktionstechnische Berichte aus dem FBK</subfield><subfield code="v">Band 03/2016</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Manuskript gedruckt ; Zusammenfassung in deutscher und englischer Sprache</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Technische Universität Kaiserslautern</subfield><subfield code="d">2016</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schleifen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128669-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Spanende Bearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055957-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Schleifen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128669-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Spanende Bearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055957-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Produktionstechnische Berichte aus dem FBK</subfield><subfield code="v">2016,3</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV019848758</subfield><subfield code="9">2016,3</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=029395216&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-029395216</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV043986916 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T07:40:26Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783959740326 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-029395216 |
| oclc_num | 968745691 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-522 DE-12 DE-83 DE-706 DE-634 DE-29T DE-858 |
| owner_facet | DE-522 DE-12 DE-83 DE-706 DE-634 DE-29T DE-858 |
| physical | IX, 112 Seiten Illustrationen, Diagramme |
| publishDate | 2016 |
| publishDateSearch | 2016 |
| publishDateSort | 2016 |
| publisher | Technische Universität |
| record_format | marc |
| series | Produktionstechnische Berichte aus dem FBK |
| series2 | Produktionstechnische Berichte aus dem FBK |
| spelling | Carrella, Marina 1984- Verfasser (DE-588)1122654065 aut Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium Marina Carrella Kaiserslautern Technische Universität 2016 © 2016 IX, 112 Seiten Illustrationen, Diagramme txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Produktionstechnische Berichte aus dem FBK Band 03/2016 Als Manuskript gedruckt ; Zusammenfassung in deutscher und englischer Sprache Dissertation Technische Universität Kaiserslautern 2016 Schleifen (DE-588)4128669-8 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Spanende Bearbeitung (DE-588)4055957-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Schleifen (DE-588)4128669-8 s Spanende Bearbeitung (DE-588)4055957-9 s DE-604 Produktionstechnische Berichte aus dem FBK 2016,3 (DE-604)BV019848758 2016,3 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=029395216&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Carrella, Marina 1984- Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium Produktionstechnische Berichte aus dem FBK Schleifen (DE-588)4128669-8 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Spanende Bearbeitung (DE-588)4055957-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4128669-8 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4055957-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium |
| title_auth | Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium |
| title_exact_search | Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium |
| title_full | Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium Marina Carrella |
| title_fullStr | Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium Marina Carrella |
| title_full_unstemmed | Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium Marina Carrella |
| title_short | Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium |
| title_sort | zerspanungsmechanismen beim mikroschleifen von einkristallinem silizium |
| topic | Schleifen (DE-588)4128669-8 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Spanende Bearbeitung (DE-588)4055957-9 gnd |
| topic_facet | Schleifen Silicium Spanende Bearbeitung Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=029395216&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV019848758 |
| work_keys_str_mv | AT carrellamarina zerspanungsmechanismenbeimmikroschleifenvoneinkristallinemsilizium |