APA (7th ed.) Citation

Vogel, M. (2016). Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen.

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Vogel, Michael. Herstellung Von Aluminiumnitrid Dünnschichten Mittels Magnetron Sputtern Auf Diamant Für Potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen. Siegen, 2016.

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Vogel, Michael. Herstellung Von Aluminiumnitrid Dünnschichten Mittels Magnetron Sputtern Auf Diamant Für Potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen. 2016.