Verfügbarkeit: Gassensitivität und Hochtemperatureigenschaften dielektrischer Dünnschichten

Gassensitivität und Hochtemperatureigenschaften dielektrischer Dünnschichten:

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schreivogel, Martin 1986- (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Aachen Shaker Verlag 2015
Schriftenreihe:	Berichte aus der Elektrotechnik
Schlagworte:	Potenzialmessung Elektrode Geräteentwicklung Halbleitersensor Metall-Isolator-Metall-System Feldeffekttransistor Grenzflächenpotenzial Gassensor Dielektrikum Hochschulschrift
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis
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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS 1. EINLEITUNG 1 1.1. M OTIVATION.................................................................................. 1 1.2. UEBERBLICK ZUM STAND DER TECHNIK...................................................... 3 1.2.1. HALBLEITENDE METALLOXIDSENSOREN........................................... 4 1.2.2. FELDEFFEKTBASIERTE S E N SO RE N ................................................... 7 1.3. FRAGESTELLUNGEN UND HERANGEHENSWEISE........................................... 9 1.3.1. TESTSTRUKTUREN UND VORARBEITEN ............................................. 9 1.3.2. AUFTEILUNG IN T EILASP EK TE...................................................... 13 2. VORBETRACHTUNGEN 17 2.1. AUFBAU UND FUNKTIONSWEISE EINES GASSENSITIVEN FELDEFFEKTTRANSIS- TORS ...................................................................................................... 17 2.2. SIGNALBILDUNGSMODELLE IN DER LITERATUR UND THEORETISCHE GRUNDLAGEN 21 2.2.1. WECHSELWIRKUNG VON GASEN MIT DER E LEK TRO D E .................... 21 2.2.2. EINFLUSS VON ELEKTRISCHEN FELDERN AUF DIE ADSORPTION .... 27 2.2.3. GASINDUZIERTER F ELDEFFEKT...................................................... 29 2.3. SCHWIERIGKEITEN BEI DER UNTERSUCHUNG NANOSTRUKTURIERTER GASSEN- SOREN . ................................................................................................... 34 3. ERGEBNISSE I: ERKLAERUNG DER SIGNALBILDUNG AN ML M-ST RUKT UREN 37 3.1. PROBENPRAEPARATION............................................................................. 37 3.2. ERSTE BEOBACHTUNGEN UND SYSTEMATISCHE CHARAKTERISIERUNG ........... 41 3.2.1. GASSENSITIVITAET DER M IM -STRUKTUREN..................................... 41 3.2.2. ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG ................................................ 42 3.3. MODELLBILDUNG UND VALIDIERUNG......................................................... 46 3.3.1. MIKROSKOPISCHE URSACHE DES POLARISATIONSMECHANISMUS . . 46 3.3.2. UEBERLEGUNGEN ZU MOBILEN IONEN IN EINER DIELEKTRISCHEN DUENNSCHICHT............................................................................. 53 3.3.3. ERKLAERUNG DER G ASSENSITIVITAET ................................................ 59 3.3.4. EINFUEHRUNG EINES ERSATZSCHALTBILDES..................................... 67 3.3.5. BESCHREIBUNG DER VERLUSTMAXIMA MIT HILFE DES ERSATZ- SCHALTBILDES ............................................................................. 74 3.4. ZWISCHENZUSAMMENFASSUNG I ........................................................... 76 4. ERGEBNISSE II: OBERFLAECHENPOTENTIALMESSUNGEN 79 4.1. OBERFLAECHENPOTENTIALMESSUNG MIT DEM KELVIN-SONDEN-VERFAHREN . 79 4.2. THEORETISCHE VORBETRACHTUNGEN FUER PROBEN MIT NICHTLEITENDER O BERFLAECHE .......................................................................................... 80 INHAL TS VERZEICHNIS 4.3. UEBERTRAGUNG DES KELVIN-SONDEN-PRINZIPS AUF DAS A F M ................. 83 4.4. EXPERIMENTELLE HERAUSFORDERUNGEN BEI HOHEN TEMPERATUREN .... 85 4.5. M ESSERGEBNISSE .................................................................................. 89 4.5.1. MESSUNGEN AUF PLANAREN P RO B E N ........................................... 89 4.5.2. MESSUNGEN AUF STRUKTURIERTEN P RO B E N ................................... 92 4.6. ZWISCHENZUSAMMENFASSUNG II ......................................................... 96 5. ANWENDUNG DES ERARBEITETEN VERSTAENDNISSES 97 5.1. KONSEQUENZEN FUER DEN BETRIEB VON C HEM FETS................................ 97 5.1.1. ERKLAERUNG DES G RUNDLINIENDRIFTS ........................................... 97 5.1.2. NEUE BETRIEBSSTRATEGIEN UND BAUTEILDESIGNS ..........................100 5.2. WEITERARBEIT AM MIM-SENSORPRINZIP ................................................... 102 6. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 105 ANHANG 109 A. GRUNDLAGEN 111 A.L. ERGAENZENDE A BBILDUNGEN...................................................................111 A.2. ELEKTROCHEMISCHE IMPEDANZSPEKTROSKOPIE .......................................113 A. 3. TOF-SIMS.......................................................................................... 115 B. EXPERIMENTELLE DETAILS 117 B. L. PROZESSIERUNG DER MIM-STRUKTUREN................................................117 B.2. VERWENDETE MESSVORRICHTUNGEN.......................................................... 118 B.2.1. GASABHAENGIGE UND ELEKTRISCHE C HARAKTERISIERUNG.................118 B.2.2. ISOTOPENAUSLAGERUNGSSTAND......................................................119 B.3. SIMULATIONEN MIT SILVACO A T L A S .......................................................... 120 C. LISTE DER VERWENDETEN ABKUERZUNGEN 123 D. LISTE DER VERWENDETEN FORMELZEICHEN UND SYMBOLE 125 E. PUBLIKATIONEN 129 LITERATURVERZEICHNIS 134
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