Köhler, J. M. (1999). Etching in microsystem technology. Wiley-VCH.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Köhler, J. M. Etching in Microsystem Technology. Weinheim: Wiley-VCH, 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Köhler, J. M. Etching in Microsystem Technology. Wiley-VCH, 1999.
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