APA (7th ed.) Citation

Kaden, D. (2015). Entwicklung und Integration von in-situ Sputterprozessen für PZT zum Einsatz in MEMS Aktuatoren.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Kaden, Dirk. Entwicklung Und Integration Von In-situ Sputterprozessen Für PZT Zum Einsatz in MEMS Aktuatoren. Elmshorn, 2015.

MLA (9th ed.) Citation

Kaden, Dirk. Entwicklung Und Integration Von In-situ Sputterprozessen Für PZT Zum Einsatz in MEMS Aktuatoren. 2015.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.