Kaden, D. (2015). Entwicklung und Integration von in-situ Sputterprozessen für PZT zum Einsatz in MEMS Aktuatoren.
Chicago Style (17th ed.) CitationKaden, Dirk. Entwicklung Und Integration Von In-situ Sputterprozessen Für PZT Zum Einsatz in MEMS Aktuatoren. Elmshorn, 2015.
MLA (9th ed.) CitationKaden, Dirk. Entwicklung Und Integration Von In-situ Sputterprozessen Für PZT Zum Einsatz in MEMS Aktuatoren. 2015.
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