Holdings: Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns

Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns:

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Bibliographic Details
Main Author:	Barth, Stephan 1985- (Author)
Format:	Thesis Book
Language:	German
Published:	Dresden TUDpress, Verl. der Wiss. 2015
Series:	Dresdner Beiträge zur Sensorik 56
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